DLC(Diamond-like carbon)コーティング
高周波と直流負パルスを同時印加 ・高周波プラズマは反応容器外から供給 ・直流電圧はアークに直結 コンパクトでシンプルデザイン ・加熱源をもたない ・ワークの設置方向に制限なし グラファイトからDLC まで膜質を連続制御 ・高周波パワーで反応制御 ・直流電圧値で密着性制御
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基本情報
【アプリケーション例】 ・機械的特性 耐摩耗:切削工具、摺動部品 低摩耗:真空部品、エンジン、回転部品 高熱伝導性:ヒートシンク ・電気的特性 誘電性:電極、電極保護剤 絶縁性:絶縁材 ・科学的特性 表面修飾性:親水性→医療器具 撥水性→金型 ・光学特性 赤外線透過窓
価格帯
納期
用途/実績例
コーティング活用例 【膜厚】100nm~1μm程度 【成膜スペック】 ワーク:導電性フィルム、構造補強、低摩擦フィルム他、樹脂製品、 自動車部品や金属部品、ガラスレンズ、ゴム成型用金型、 人工関節カテーテル等、医療製品他 サイズ:一辺100mm程度あれば形状を問いません 【適応膜】 DLC膜、グラファイト膜
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カーボンニュートラル実現に向けたキーテクノロジーの1つである次世代電池、さまざまな機能を持ったナノスケールの機能性粒子、5G・6G通信システムや環境対応車の普及、先進運転支援システム (ADAS)の進歩を背景に超小型化・高信頼性が求められるMLCCをはじめとする受動部品、DXによる質の高い医療、AI・デジタル化の進む医療機器など、社会のあらゆる分野で我々のコーティング技術に期待が集まっています。