イオンクロマトグラフで中和とマトリックス除去を伴う濃縮工程を自動化して半導体製造で使用する高純度水酸化アンモニウムの不純物を測定
半導体産業では、超高純度試薬が必要とされます。イオン性不純物が含まれていると製品の品質を損なう可能性があります。 このアプリケーションでは、28%の半導体グレードの水酸化アンモニウム溶液中の陰イオン不純物の測定結果を示します。 マトリックスの影響を避けるために、インライン中和とマトリックス除去を伴う濃縮テクニックを用いて測定を行ないました。
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企業情報
スイス・ヘリザウに本社を置くメトローム社は、70年以上にわたりイオン分析を中心とした分析機器の開発・製造を行うリーディングカンパニーです。イオンクロマトグラフィー、電位差滴定、カールフィッシャー水分測定、ラマン分光分析など、高精度な測定技術を核とした幅広い製品群を、世界140か国以上のお客様へお届けしています。日本法人であるメトロームジャパン株式会社は、スイス本社で培われた高い技術力と品質を背景に装置の3年保証を実現するとともに、環境、食品、医薬品、半導体、化学など幅広い分野のお客様に対し、販売からアプリケーション相談、導入後のメンテナンス・サービスまで、メーカーならではのきめ細やかなサポート体制で対応しています。
