レチクルをステッパー用ケースに入れた状態で保管
・レチクルをステッパー用ケースに入れた状態で保管するものです。 ・庫内はクリーンな環境が維持できます。 ・バーコード管理にも対応できます。 ・1BOXに7~9個のレチクルケースを収納でき、回転棚は8段～12段で任意に変更が可能です。 ・設置場所や収納必要数に応じ、棚やBOXの数を任意に指定可能です。 ・オペレーターはストッカー内の空いているスロットへ任意に入庫でき、在荷センサーで自動的に管理可能。出庫時は各スロットで監視するため、出庫ミスを予防です。 ・レチクルケースI D（バーコード、QRコード）にて、収納棚との紐づけ管理です。 ・地震などによるケースの飛び出し防止機能付です。 ・上部ULPA（HEPA)フィルターによるダウンフロー構造です。 ・全面扉は自動シャッター付です。
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