正確に、素早くソーティング。キャリアに挿入されたウエハを自動で取り出し、ソーティングします。
当製品は、ローダーキャリアからウエハを取り出し、 シリコンウエハに印字された文字を読み取り、 オリフラ位置の位置合わせを行ったうえで アンローダーキャリアへ戻す、自動ソーティング装置です。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ 【特長】 ■低価格を実現 ■2～8インチまで対応可能 ■フットプリントの低減（省スペース化） ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【主な仕様例】 ■カセットステージ：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ8" ■印字読み取り COGNEX製ユニット搭載 ■センタリングユニット：1組 オリフラ位置合わせユニット搭載 ■装置サイズ：（例）700×1000×1200(Φ6") ■ウェハ搬送ロボット：1組（シングルアームクリーンロボット） ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
※4～5ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
企業情報
フォトレジストの塗布・露光・現像装置をメインとし、両面露光装置等、フォトリソグラフィープロセス全般および関連プロセス装置の設計・製造・販売を行っております。 特に、凹凸やＶ溝のある基板または、角基板や不定形基板への均一性の高い塗布技術を有しております。さらに、高圧ジェットＮＭＰによるバリ、メタルの再付着の発生の無い剥離・リフトオフ装置を開発し、販売しております。 その他、ポリイミド・ＰＢＦ・ＯＣＤ・ＷＡＸ等各種塗布装置、高温ベーキング装置、スピンドライヤー装置等取り扱っております。 お客様の仕様・予算により装置をカスタマイズしてお作りしております。 また、各種ウェハ、基板等の販売も行っております。