トライ＆エラーが必要不可欠な研究・試作用途に好適なマスクレス露光装置
『DDB-701シリーズ』は、MEMS技術の代表格であるフォトリソグラフィを、 卓上で、手軽に、思いのままに行えるマスクレス露光装置です。 装置サイズを徹底的に小型化し、A3サイズの設置面積を実現。 フローティング構造を採用することで振動を抑制し、 防振台不要・真空吸着用エア源内蔵を実現し、 導入に際して障害となりやすい圧縮エアなどのユーティリティを取り除きました。 【特長】 ■設置場所に困らない卓上型 ■業界の常識を覆す低価格設定 ■ユーザフレンドリーな操作性を追求 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
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基本情報
【機能】 ■リピートモード(条件出し) ■重ね合わせ(アライメント) ■パターン生成機能 ■キャンバスモード ■ステージレイアウト など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
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企業情報
日本におけるレーザメーカの草分け。30年に及んでHeNe、半導体、YAG、CO2、ルビー等の各種レーザを開発、供給してまいりました。 最近は、振動計、変位計、レーザ直接描画装置、磁気光学特性測定装置など、レーザ応用システム商品のラインアップも増え、レーザに関わるあらゆるニーズに答えるべく、努力しております。