拡張スロットが5つあり、スパッタチャンバーや蒸着装置、グローブボックス等、追加搭載可能
RAMクラスター スパッタリングシステムは、 RAMカソード（4面対向式低ダメージスパッタリングカソード）が搭載されたクラスター型スパッタリング装置です。 下地層にダメージを与えないよう、初期層はRAMカソードで低ダメージスパッタ成膜を行います。 拡張スロットが5つあり、スパッタチャンバーや蒸着装置、グローブボックス等、追加搭載可能。 また、25段多段ラック式のロードロックを搭載し、多種多様な成膜レシピをスロットごとに 自動で成膜することができ、あらゆる研究開発に対応できます。
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基本情報
Max. Sub. Size : 200mm x 200mm x t1mm Effective deposition width:200mm Number of substrate per tray:1 Deposition methods: Sputter up tray ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
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企業情報
京浜ラムテックは1972年に創業し、 液晶・半導体製造装置業界・自動車業界でも信頼されるメーカーとなりました。 弊社では、継続的な技術開発は、全社員の任務と考えております。 京浜ラムテックの持つ独自技術は、あらゆる産業の中核技術として利用されております。 今後更なる発展が期待される独創的な技術を開発・提案し続けるProposerとして お客様の更なる発展に貢献致します。