パイロットラインから量産ラインへが展開が可能な装置です。
RAMカソード（4面対向式低ダメージスパッタリングカソード） 及び強磁場プレーナーカソードを搭載したデポジションアップ式水平インライン型スパッタ装置です。 下地層にダメージを与えないよう、初期層はRAMカソードで低ダメージスパッタ成膜を行います。 その後、強磁場カソードで高速成膜を行います。 ロードロックストッカー及びアンロードロックストッカーに各15トレイずつ真空保管されます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
Max. Sub. Size : 200mm x 300mm x t0.2mm Number of substrate per tray:2 Tray size:350mm×1000mm×20tmm Effective deposition width:620mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
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京浜ラムテックは1972年に創業し、 液晶・半導体製造装置業界・自動車業界でも信頼されるメーカーとなりました。 弊社では、継続的な技術開発は、全社員の任務と考えております。 京浜ラムテックの持つ独自技術は、あらゆる産業の中核技術として利用されております。 今後更なる発展が期待される独創的な技術を開発・提案し続けるProposerとして お客様の更なる発展に貢献致します。