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真空(圧力)の質を計測する計測器で、分圧真空計とも呼ばれます。真空中でどのようなガスが、どの程度含まれているかを知る事が出来ます。質量分析計は、主に下記 3 種類に大別されます。 A. 磁場偏向型 B. 四重極型 C. 飛行時間型
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基本情報
ファィファーバキューム社は独国アスラーに本社を構え、1890年より最先端の真空機器、真空計測機器、真空分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。
価格帯
納期
※型番・数量によって納期が変動いたします。お気軽にお問い合わせください
用途/実績例
【用途】 •QMG250 産業・環境分析・研究開発・半導体生産・コーティング技術等、広範囲な分野に対応します。 •GSD350 吸着の少ない一般的なガス(窒素、酸素、アルゴン等)分析に向いています。 •QMG700 特に触媒開発・分析での発生ガス中の酸化物等の高精度測定に向いています。
詳細情報
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•モジュラー構成により多彩なアプリケーションに適合 •コンパクトかつハイパフォーマンス •多様なインターフェイスによるシンプルなシステム連携 •Webブラウザ簡易測定機能 •高感度・低ノイズ・クラス最高の高ダイナミックレンジ •最速1ms(Dwell time)の高速測定 •アナログ・デジタル入力、デジタル出力を標準装備(オプションで拡張可) •新PV MassSpecソフトウェア マトリクス方式の定量分析 シーケンス作成・内部計算機能 温度情報等の外部信号の取り込み スレッシュホールド機能により外部機器を制御
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•専用設計の2段減圧方式により、偏析の防止と高速なレスポンスを実現 •最大200℃、最大350℃(オプション)の温度制御ヒータ付きキャピラリー •専用設計のイオン源の採用により、少量の導入ガスを効率良くイオン化 •省スペース、軽量設計、取り外し可能なタッチパネル装備 •最速1ms(Dwell time)の高速測定 •校正ユニット内蔵(オプション)、耐腐食性バージョン(オプション) •新PV MassSpecソフトウェア マトリクス方式の定量分析 シーケンス作成・内部計算機能 温度情報等の外部信号の取り込み スレッシュホールド機能により外部機器を制御
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•多用途高性能四重極質量分析計 •モジュラー構成により多彩なアプリケーションに適合 •高感度・低ノイズ・最大10桁のダイナミックレンジを実現
ラインアップ(10)
型番 | 概要 |
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QMG250 F1 | •マスレンジ:1-100 amu •ディテクタ:ファラデー •検出限界:4E-11 Pa(ファラデー) •感度:Ar 5E-6 A/Pa •許容最大圧力:5E-2 Pa(ファラデー) •隣接ピーク寄与率Mass40/41:<10 ppm •分析管ベーキング温度:最大300℃(動作時最大200℃、EM使用時最大150℃) |
QMG250 F2 | •マスレンジ:1-200 amu •ディテクタ:ファラデー •検出限界:5E-11 Pa(ファラデー) •感度:Ar 4E-6 A/Pa •許容最大圧力:5E-2 Pa(ファラデー) •隣接ピーク寄与率Mass40/41:<20 ppm •分析管ベーキング温度:最大300℃(動作時最大200℃、EM使用時最大150℃) |
QMG250 F3 | •マスレンジ:1-300 amu •ディテクタ:ファラデー •検出限界:7E-11 Pa(ファラデー) •感度:Ar 3E-6 A/Pa •許容最大圧力:5E-2 Pa(ファラデー) •隣接ピーク寄与率Mass40/41:<50 ppm •分析管ベーキング温度:最大300℃(動作時最大200℃、EM使用時最大150℃) |
QMG250 M1 | •マスレンジ:1-100 amu •ディテクタ:ファラデー EM •検出限界:3E-13 Pa(C-SEM) •感度:Ar 5E-6 A/Pa •許容最大圧力:5E-2(ファラデー)、5E-3(C-SEM) •隣接ピーク寄与率Mass40/41:<10 ppm •分析管ベーキング温度:最大300℃(動作時最大200℃、EM使用時最大150℃) |
QMG250 M2 | •マスレンジ:1-100 amu •ディテクタ:ファラデー EM •検出限界:4E-13 Pa(C-SEM) •感度:Ar 4E-6 A/Pa •許容最大圧力:5E-2(ファラデー)、5E-3(C-SEM) •隣接ピーク寄与率Mass40/41:<20 ppm •分析管ベーキング温度:最大300℃(動作時最大200℃、EM使用時最大150℃) |
QMG250 M3 | •マスレンジ:1-100 amu •ディテクタ:ファラデー EM •検出限界:5E-13 Pa(C-SEM) •感度:Ar 3E-6 A/Pa •許容最大圧力:5E-2(ファラデー)、5E-3(C-SEM) •隣接ピーク寄与率Mass40/41:<50 ppm •分析管ベーキング温度:最大300℃(動作時最大200℃、EM使用時最大150℃) |
GSD350 OmniStar | •測定質量数:1-100/1-200/1-300 •キャピラリ材質:ステンレスクォーツ •ガス導入方式:バルブ制御可能 •ガス流量:1~2 sccm |
GSD350 ThermoStar | •測定質量数:1-100/1-200/1-300 •キャピラリ材質:クォーツ(メモリ効果防止) •ガス導入方式:常時導入 •ガス流量:1~2 sccm |
HiQuad QMG700/高分解能測定型 | •質量分析範囲:1-128 •最大測定圧力:1E-3 Pa(SEM), 1E-2 Pa(ファラデー) •検出器:ディスクリートSEM/ファラデー •Qポール:16mm径, 300mm長, モリブデン •最小検出限界:5E-14 Pa •最小検出限界(分圧):0.3 ppb •測定動作温度:最大150 ℃ •ベーキング温度:動作時最大180 ℃/分析管単体最大400 ℃ |
HiQuad QMG700/高質量測定型 | •質量分析範囲:1-300, 512 •最大測定圧力:1E-3 Pa(SEM), 1E-2 Pa(ファラデー) •検出器:ディスクリートSEM/ファラデー •Qポール:8mm径, 200mm長, モリブデン(300 amuのみSUS) •検出限界:1E-13 Pa(512 amuタイプ) •動作温度:最大150 ℃ •ベーキング温度:動作時最大180 ℃/分析管単体最大400 ℃ |
カタログ(1)
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伯東株式会社は、エレクトロニクス専門商社・技術サービスを提供する 技術商社・化学工業薬品メーカーとして、個々のニーズの見極めから 人と技術が共生する豊かな未来を創造しています。 当社は1953年11月に、水晶原石の輸入・販売を手がける商社として設立。 「伯東」とは、水晶の原産地である伯剌西爾 (ブラジル) の「伯」と 東京の「東」の頭文字をとり命名されたもので、この社名には ブラジル・東京を結ぶだけではなく、広く世界を結ぶ国際商社として 成長していこうという熱い思いが込められています。 【イプロス掲載メーカー/製品群】 旭化成/センサー、ホール素子・IC Crystal IS(クリスタルアイエス)/UVC(深紫外線)LED IMPINJ(インピンジ)/RAIN RFID機器・システム・ソフトウェア