実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて設計、製造します
当社では真空装置の設計、製造、納入までを一貫して行い、納入後の プロセスサポート、改造、メンテナンスまで対応しております。 「こういう形の物に膜をつけられる装置」、「こういう事が出来る装置」など、 ご要望をお聞かせいただき、適切な装置をご提案させていただきます。 一から設計しますので、お手持ちのポンプをご支給いただいたり、 このメーカのバルブを使って欲しいなどのご要望にも柔軟に対応いたします。 【真空装置、部品の製作事例】 ■PE-CVD装置 ■熱CVD装置 ■スパッタ装置チャンバ設計・製作（チャンバスケッチ・設計・製作） ■大気圧プラズマ用電極ユニット設計・製作 ■画像評価装置制御BOX製作 など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【真空装置の改造事例】 ■CVD装置ポンプ増設工事 ■CVD装置ガス1系統増設工事 ■スパッタ装置改造工事 ■表面処理装置PLCプログラム変更工事 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社では、CVD、スパッタ、蒸着などの成膜装置から大気圧プラズマ、 加熱/乾燥炉など真空/大気圧問わず実験装置から生産装置まで、お客様の 要望に合わせて装置を設計、製造致します。 また、CVD法の一種であるプラズマCVD法によりDLC膜を生成します。 a-SiCやSiOxといったSi系膜の作成も可能です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。