今後の装置に対して幅広いラインアップの気密封止型製品で「お客様の多様な真空気密隔壁での接続ニーズに応えるご提案」をいたします。
レモのラインナップには真空気密レセプタクルと真空フィードスルーカプラーがあります。これらのモデルは、すべてのシリーズとサイズで提供可能であり、標準型タイプでは80℃までの温度で使用可能です。 高温環境では、300℃までにおいて、気密ソリューションをカスタム品として提供出来ます。 He漏れ率は1×10⁻⁸ Pa ㎥/s （1×10⁻⁷mbar.ℓ/s）以下です。より低い漏れ率が必要な場合は、He漏れ率1x10⁻¹⁰ Pa.㎥/s（1x10⁻⁹ mbar.l/s ）以下の特別セラミックシールドソリューションを提供出来ます。 主なアプリケーション分野： ■ ウェハハンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー ■ 測長SEM他検査測定装置 高い気密性と手頃な価格により、気密を必要とするチャンバー等との信号の接続に多数ご使用いただいております。
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基本情報
レモ社は、日本の半導体製造装置アプリケーション分野で20年以上の実績を持っています。 レモコネクタの特徴を活かし、ステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの半導体製造装置でレモコネクタをご使用いただいております。 主なアプリケーション分野： 高密度 ■ スパッタリング装置 ■ ドライエッチング装置 ■ 露光装置用温度測定器 ■ 測長SEM他検査測定装置 高電圧 ■ イオン注入装置 ■ 高電圧・高周波電源装置 ■ PZT駆動装置 ■ 測長SEM他検査測定装置 気密（高真空）仕様 ■ ウェハハンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー ■ 測長SEM他検査測定装置 耐高温/耐熱性 ■ セラミックヒータ ■ ドライエッチング装置 ■ マスフローコントローラ ■ モールド装置 ■ 露光装置光源 小型同軸 ■ 電子ビーム描画装置 ■ 測長SEM 他 検査測定装置 ■ PZT駆動装置 ■ 各種センサ 詳しくはお問い合わせ、または資料をダウンロードしてください。
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LEMOの気密ソケット・カプラーの特長は「主要製品の全てのラインアップで気密対応品が準備されている」ことです。超小型の同軸から100極を超える大型の多極コネクタまで、極数を問わず全てにおいて対応しています。お客様において製品改良の為に極数を変更増やすケースでも、新たな開発を行わず標準ラインアップから選択することが可能です。 標準ラインアップの温度特性は最大100℃までとなっておりますが、それ以上の高温で使用するケースにはガラスハーメティックを用いた特殊仕様にも対応いたします。 〇コネクタ内にエポキシ樹脂を充填し気密保持を実現！ 気密モデルにおけるエア漏れ率(He)は、1×10⁻⁸ Pa ㎥/s 〇最高使用圧力（IEC 60512-7 test 14d）5bars～60bars（サイズによる） ※数値は、装置に取付けれたコネクタの内側と外側の最大圧力差です。
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企業情報
レモジャパンは、スイス本社から100％の出資を受けている外資系企業です。 レモジャパンは世界で最も品質基準の厳しい日本国内のお客様の為に、LEMOが世界で誇る高性能・高信頼性コネクタを取り扱い、さらにお客様の目線に立ったサービスの提供や、納期の対応をするべく拠点を設けております。 品質維持と品質向上のために、2002年にISO9001を、2004年にISO14001を取得。さらに2005年にはソニー株式会社様のグリーンパートナーとして認定されました。 スイス本国のコネクタ販売以外にも、お客様のニーズに合わせた特殊コネクタの開発やケーブルアッセンブリの対応にも力を入れております。 レモジャパンは日本国内に自社工場を保有し、コネクタの選定・ケーブルの選定は基より、部材調達・組立・検査を一貫して行える体制を整えております。 レモジャパンの強みは、レモのグローバルネットワークを利用し海外からも多種多様なコネクタ関連の製品調達やケーブル調達が出来ることです。 お客様のニーズにお応えするために幅広い選択肢を持ち、最も適したコネクタソリューションを提供し続けています。