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プローブ針、プローブホルダ及びマニピュレータ

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最終更新日:2024年05月01日

有限会社シスコム(SysCom)
有限会社シスコム(SysCom)
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60年以上に渡り半導体デバイス解析用プロービング関連製品一筋に開発製造を行っている米国Micromanipulator社の製品

プローブ針:先端半径0.1μmの極小ターゲット用、高温プロービング用等プロービングの目的、ターゲットに合わせた各種プローブ針が用意されています。既にご使用されているプロービングシステムの交換用プローブ針としてご利用頂けます。 プローブホルダ:プローブ針を先端にセットしマニピュレータに組み合わせます。ケルビン接続やコアキシャル及びトライアキシャル仕様、またその両方の機能を備えた仕様の製品も用意されています(例:ケルビン接続のトライアキシャル仕様)。 マニピュレータ:先端にプローブ針を装着したプローブホルダを取り付け、ターゲットにプロービングを行います。マグネット及びバキューム吸着ベースの2種類用意されています。

    ウエハートランジスタ専用IC
7A

プローブ針、プローブホルダ及びマニピュレータ

7A EDITED.jpg
7A EDITED.jpg Probe Tip Dimesions - コピー (2).jpg 7B - コピー.png 7S - コピー.png 7X- コピー.png 79-6000-TD-03.jpg 79-8000-TD-03.jpg 525 and 2525 Manipulator - コピー.png
  • 関連リンク - https://syscom-corp.jp/products/micromanipulator/
  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/syscom/product/

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基本情報

モデル7シリーズプローブ針:先端部材質:タングステン、Shank部Dia.: .020インチ 7シリーズのモデル例: モデル7A:精細なプロービング用。 Point Radius :0.35μm, Tip Dia. : .005インチ モデル7S:最柔軟性、高温プロービングにも最適。 Point Radius :0.35μm, Tip Dia. : .005インチ モデル7X:極小ターゲット用。 Point Radius :0.1μm, Tip Dia. : .003インチ モデル7B:高耐久性、一般プロービング用(針先まで一体化) Point Radius :0.5μm, Tip Dia. : .020インチ プローブホルダ: モデル79-8000-TD-03 Kelvin Triaxial Probe Holder: ケルビン接続のトライアキシャル仕様。ホルダの先端で同軸ケーブルが結線されています。 コアキシャル仕様もあります。

価格帯

1万円 ~ 10万円

納期

~ 1ヶ月

用途/実績例

・半導体デバイス解析用プロービング、Failure Analysis ・デバイスの温度特性評価 ・デバイスの信頼性評価 ・高周波500MHzまで対応 ・ライフ・サイエンス ・シリコンウェハーでのプロービング検査

企業情報

有限会社シスコム(SysCom)

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欧米の先端技術に基づく材料の分析評価機器やセンサーシステムを国内市場に紹介することで、様々な分野での研究開発に貢献致します。 また、お客様の幅広いニーズに対応すべく、柔軟かつ確実な技術サポートを提供してまいります。 些細なことでも、まずはお気軽にご相談下さい。

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