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【フォトマスク】0.5μmまでのパターンを作りたい

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最終更新日:2021年07月27日

日本フイルコン株式会社
日本フイルコン株式会社
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様々な現場で使われるフォトマスク。お客様のニーズに合わせた好適な製品を提供します

日本フイルコンでは、現在使用される凡そ全てのマスクサイズに 対応しております。 タテ・ヨコのラインをベースにした場合で、最小0.5µmの ライン&スペースまで対応可能。 実際には、マスクサイズ等により解像可能な線幅が異なりますので、 デザイン確認後、可否を回答させて頂いております。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■現在使用される凡そ全てのマスクサイズに対応 ■ガラスを切り出すことで規格外の大きさへの切り出しも可能 ■10" 以上のサイズも取り扱っており、最大813mm×813mmまで対応 ■タテ・ヨコのラインをベースにした場合で、最小0.5µmのライン&スペースまで対応 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    その他半導体フォトマスク
2021-07-08_11h49_45.png

【フォトマスク】0.5μmまでのパターンを作りたい

2021-07-08_11h49_45.png
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  • 関連リンク - http://filcon-photomask.com/product/size.php
  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/filcon/product/

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基本情報

【フォトマスク仕様】 <マスクタイプ:レチクル、ワーキング・マスク> ■露光方法:レーザー描画 ■最小線幅:0.5µm~ ■線幅精度:±0.05µm~ ■位置精度:±0.05µm~ ■欠陥検査規格:0.5µm以上 0個~ ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

企業情報

日本フイルコン株式会社

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製紙用ワイヤー(抄紙網)の自給を目的に、 主要な国内製紙会社からの出資により創業した1916年以来、 世界一高度な品質を要求される国内産業界からの要請に応えて、 各種素材に物理的・化学的な加工を施す技術の研鑽と適応領域の拡大を図ってまいりました。 現在は産業用機能フィルター・コンベア事業、電子部材・フォトマスク事業、 環境・水処理関連事業を主力事業に子会社21社および関連会社4社で構成される各種機能性資材と生産材を供給する企業グループへと成長を遂げています。 今後も日本フイルコングループの総力を結集して、コア技術であるフィルター、コンベアといった「分離」「搬送」を軸に、高品質かつ革新的な製品およびサービス等産業界の生産性向上に応えるための最適なソリューションを供給し、グループ企業価値を向上させるべく努めてまいります。

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