部分吸着が威力を発揮！安定したワークの浮上により作業効率と品質の向上を実現
A社様は、レーザーアニールでワークに光をあてるためピント合わせが 難しく、ワークを浮かせたままレーザーをあてたいが、 従来チャックではしっかり固定できず困っていました。 そこで『エアロフィックス』を導入。 精密、安定した浮上が可能になりピント合わせがラクになりました。 また、細かい気孔による部分吸着が威力を発揮し、作業効率が大きく 向上しました。 【事例概要】 ■導入先：A社様 ■用途：浮上 ■活用：中小型ディスプレイのエキシマレーザーアニール装置の浮上台として ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【事例概要】 ■課題 ・レーザーアニールではワークに光をあてるためピント合わせが難しい ・ワークを浮かせたままレーザーをあてたいが、従来チャックではしっかり固定できない ■解決 ・精密、安定した浮上が可能になりピント合わせがラクになった ・細かい気孔による部分吸着が威力を発揮し、作業効率が大きく向上した ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
【用途】 ■浮上器具：ワークの安定浮上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社では、特殊砥石・真空吸着プレート・平面研削盤の製造販売、 精密研削・研磨・ダイシングの受託加工事業を展開しております。 また、高精度多孔質セラミックス真空チャック『エアロフィックス』などを 取り扱っております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。