太陽電池セル製造工程中のWaferの微細な構造を顕微PL観測
PVX1000+POPLI-μは、太陽電池セル製造工程中のWaferの微細な構造を顕微鏡でフォトルミネセンス観測ができます。PERCであれば、PL強度で個々のLocal-BSFの評価、レーザーコンタクトホール周辺のパッシベーション層のダメージが評価可能です。 また、直流電源を用いたモジュールのEL観測により欠陥箇所の位置特定が可能です。
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基本情報
製品特長 １．シリコンウェハ（6インチ角以下） ２．超高感度冷却CCDカメラ（100万画素、－70℃） ３．平面レーザー光源により視野内の一括イメージング測定が可能 ４．高機能画像演算ソフト搭載 ５．専用の高遮蔽暗箱一体型
価格情報
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納期
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企業情報
アイテスは、日本アイ・ビー・エム野洲事業所の品質保証部門を母体として１９９３年に設立されました。 日本アイ・ビー・エム野洲事業所での最先端電子部品の不良解析・信頼性保証で培った技術力を基盤にして、半導体、ディスプレイ、有機EL、太陽電池、電子部品の開発・製造を支える様々な商品、サービスを国内、海外のお客様へ提供してまいりました。