【～300mmウエハ用】世界最速級の真空内高速搬送！ 装置スループットの大幅な向上を実現、高速・低振動ダブルアーム真空ロボット
■世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送を実現 ■ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減 ■アーム部にスチールベルトを採用し、軌跡精度と位置決め精度を向上 ■ハンド部に高摩擦パッドを採用し、ウエハ搬送ずれを防止 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■動作範囲 ・X1, X2-axis：620mm ・θ-axis：346° ・Z-axis：50mm ■最大動作速度 ・X1, X2-axis：380°/sec ・θ-axis：300°/sec ・Z-axis：185mm/sec ■繰返し位置精度 ・XYZ direction ±0.1mm each ■可搬質量：2.0kg (Including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量：160kg ■設置環境 ・温度 5-40℃(本体)/5-80℃(アーム) ・湿度 20-70%, No condensation ・圧力 Atmospheric pressure ～ 10-6Pa ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ダイヘンは1919年の創立以来､変圧器､溶接機､産業用ロボット､半導体製造装置用高周波電源など､社会が必要とする製品の開発に取り組み､くらしの基盤となる電力インフラの高度化や世界のものづくりの進化･発展に貢献してまいりました。 そして今､新たなステップとして､社会課題に真正面から向き合う｢研究開発型企業｣を目指しております。再生可能エネルギーの活用拡大に資するエネルギー･マネジメント･システムやEV普及に不可欠な充電インフラ機器､車体軽量化に役立つ新しい接合プロセスなどの開発により脱炭素社会実現に貢献する“Green Solutions”､また､｢労働力不足解消｣や｢働き手や働き方の多様化｣などへの貢献を目指し､ものづくりに携わるお客様が持つそれぞれの事情に合わせ､いわば“個別にあつらえた”ロボットシステムにより最適な課題解決手段を提供する“Tailored Solutions”､ これらの分野を重点と定め開発強化を図り、当社独自の価値を持つ製品を次々と市場に投入することで､これまで以上にお客様に喜んでいただき世の中のお役に立つ会社を目指してまいります。
