半導体CMP装置の研磨治具、3BM(R)リテーナーリング販売開始
3BM(R) 樹脂は、PET樹脂をベースに、CMP（Chemical Mechanical Planarization）用リテーナーリングに最適化した材料です。PPS製リテーナーリングと比較して、約3倍の耐パッド摩耗性を有しています。交換頻度を大幅に低減し、生産性の向上に貢献することができます。また、最先端CMP工程にも使えるように製造工程ではこれまでにないレベルの「超クリーン化」を実現しました。
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基本情報
■優れた耐摩耗性 PPSリテーナーリングの２倍以上の耐摩耗性能 ■スクラッチの低減 PPSに比べ摩耗残渣粒が大きく減り、スクラッチが減少 ■再生可能で環境にやさしい PETベースで再生が可能(リサイクル率が０％ →８８％) 3BM(R)リテーナーリング及び、その素材を販売しております。 材料は、8" (φ250*φ198*t20)12" (φ355*φ295*t20)になります。
価格情報
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納期
※※数量、オプション内容等によって納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例
半導体C M P工程で使用するリテーナーリングです。 大手半導体工場で採用実績があります。 電子デバイス産業新聞 2023年4月6日号に3BM CMPリテーナーリングの記事が掲載されました。 電子デバイス産業新聞に掲載の記事内容はこちら ↓ https://e-taise.co.jp/page/article.html
詳細情報
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リサイクル可能なPET樹脂を使用 PPS樹脂からPET樹脂に変えることでリサイクル率が0%から88%になります。
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企業情報
株式会社タイセーは、製品販売、エンジニアリング、加工の各事業を通じて、研究開発者のみなさまの不満や不便を解決するため、革新的なソリューションを提供しています。エンジニアリング事業では、世界最小クラスの小型真空リフロー炉やコードレスイオナイザーガン、3BM リテーナーリング、光ファイバー用ボビンラック、カスタムプローブ・ニードル、ジョイスティックマニピュレーターなど、少量多品種の試作から量産まで対応。お客様のニーズに合わせた設計・製造を迅速かつ柔軟に提供し、研究開発者のみなさまが抱える課題を解決する製品づくりを行っています。