エアステージLBTシリーズ
エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹介 標準化により低コスト、短納期を実現しております。 XYステージのラインナップもございます。
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基本情報
ストロークは50mm～500mm エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
※数量によって納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例
半導体製造装置向け 画像検査装置
詳細情報
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Class１クリーンルーム対応 ストロークは５０～５００ｍｍ コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能
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企業情報
当社では、リニアモータ、単軸ロボット、卓上ロボットなどの 電動アクチュエータの製品開発を行っています。 お客様の要望に応じて、それぞれの異なる自動化生産プロセスの サイクルタイムを短縮し、機械故障の問題を軽減。 それによって自社製品性能の向上に努めております。 カスタム・OEM対応も承りますので、ご要望の際はお気軽に お問い合わせください。