ミラープロジェクションマスクアライナー、コンタクトアライナーで両面露光を可能にするユニット。IR(近赤外線)仕様も実績あり。
マスクを傷つけることなく一括露光が可能なミラープロジェクション露光機には根強い需要があります。 本機は、コンパクトなフットプリントと低い保守コストで、トランジスタやパワー半導体等、MEMSの生産に長年貢献してきました。 経年劣化による照度低下や解像度・均一性の劣化にも、ミラーの再生など独自の技術でチャレンジを続けています。 【装置改造】 ■ 中古装置リファービッシュ販売 ■ 基盤サイズ変更 ■ チャンバー冷媒改造 ■ ミラー再生 【部品販売】 【引取オーバーホール】 【定期メンテナンス】 【移設業務】 ■ 構内移設 ■ 工場移設 【トラブル対応】
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基本情報
【仕様】 ■ MPA600FA 4” 〇 5” 〇 6” 〇 変形 〇 解像度 1.5μm 焦点深度 ±6μm以上 ■ MPA600Super 4” 〇 5” 〇 6” 〇 変形 〇 解像度 1.5μm 焦点深度 ±6μm以上 TVNA 〇 更に、弊社グループ開発品の裏面露光ユニット（IRAS）を搭載することで、裏面露光が可能になります。 もちろん、お客様保有のMPAへの後付けも可能です。
価格帯
納期
※3ヶ月（仕様によって納期が変動致しますので、お気軽にお問い合わせください。）
用途／実績例
※詳しくは外部リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
企業情報
半導体製造装置やその部品について、新品から中古品までお客様のニーズに合わせてご提案しております。海外メーカーの正規販売代理店として輸入販売している他、保証・アフターサービスのあるリファービッシュ品も提供。また、過剰装置の買取お及び移設・撤去も対応可能です。スタッフが在住しているため、アジアを中心とした海外でのサポートもご相談ください。経験を駆使して、お客様の生産業務を総合的にサポートいたします。
