受託加工・技術コンサルティングから量産機の設計提案・納品までサポート
3波長対応、超短パルスレーザー(フェムト秒レーザー、ピコ秒レーザー)対応のレーザー光源と高精密加工機から構成。 Light Covnersion社製フェムト秒レーザー光源を搭載。波長はUV、グリーン、1μmの3波長の自動切り替えが可能。バーストモードオプション(G Hz + M Hz BiBurst)。 SiC、GaN、ダイヤモンド等、次世代半導体向け高硬度脆性材料に対し、コールドアブレーション(非熱)での精密微細加工が可能となります。当社デモ機での試作加工から量産機の設計提案・納品までサポートいたします。
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基本情報
最大出力 80 W、最大パルスエネルギー 2 mJ 三波長対応(UV/グリーン/IR) バーストモードオプション(G Hz + M Hz BiBurst) * 詳細仕様は弊社Webサイトをご参照下さい。
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用途/実績例
フルデジタル三波長独立ガルバノスキャナーやLCOS_SLM(空間位相変調器)付き対物レンズ光学系と組み合わせて、SiC、GaN、ダイヤモンド等、次世代半導体向け高硬度脆性材料への加工、半導体基板への多点同時加工や収差補正に対応した加工が可能です。弊社レーザー加工トライアルサービスにて国内大手半導体メーカー、電子部品メーカーを含め、10社以上の受注実績あり。
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企業情報
光響ではレーザー業界に特化して、研究者、技術者の方々とメーカー、商社が光響を通じてつながるプラットフォーマーを目指しています。 光響の運営サイト「Optipedia」や「Optinews」、メルマガなどによる情報発信、豊富な取扱製品より選りすぐりの商品をご紹介いたします。 また光学製品のオリジナル製品の販売・レンタル・サブスクサービスの展開や、光学・レーザーについての普及活動も行っております