高い成膜レートを有する高品質な酸化物、窒化物、メタル成膜が可能！
『KOBUS-F.A.S.T』は、ALDのカバレッジとPECVDの成膜レートを 両立させたF.A.S.Tプロセスのみならず、ALD成膜も可能な高品質 薄膜成膜プロセッシングを実現するソリューションです。 下地層SiO2、バリア層TiO2、メタル層Cu・Coや透明導電体ZnOxのALD及び 良好なカバレッジを維持したF.A.S.Tハイレート成膜の用途で使用。 ALD成膜において膜質やカバレッジを維持したまま成膜速度を向上させる 手法を模索しているエンジニアの方におすすめです。 【特長】 ■ALDのカバレッジとPECVDの成膜レートを両立させたプロセス ■ALD成膜も本装置で成膜可能 ■高い成膜レートを有する高品質な酸化物、窒化物、メタル成膜が可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【その他の特長】 ■コンフォーマルSiO2成膜技術：ブレークダウンボルテージを維持した状態で、 アスペクト比3.5：1のビアホールに約65％のコンフォーマリティを有した成膜 ■コンフォーマルTiN成膜技術：電気抵抗率を維持した状態で、アスペクト比12：1の トレンチフィーチャーに約50％のコンフォーマリティを有した成膜 ■コンフォーマルCu成膜技術：電気伝導率を損なうことなく、アスペクト比10：1の ビアホールに約95％のコンフォーマリティを有した成膜 ■低電気抵抗率を有するCo薄膜の成膜 ■マイクロLED等の光学デバイス応用として、良好な透過率、屈折率、電気伝導度を 兼ね備えたZnO系の透明導電膜(TCO)の成膜 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■下地層SiO2、バリア層TiO2、メタル層Cu・Coや透明導電体ZnOxのALD及び良好なカバレッジを 維持したF.A.S.Tハイレート成膜 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
企業情報
当社は、プラズマ技術を応用したエッチング、成膜、切断装置に加え、 ICP, RIE, DSE, IBE, IBD, PECVD, HDPCVD, HDRF F.A.S.T.-ALD装置の販売、 並びに、当該装置に関するカスタマーサービスの提供しております。 米国フロリダ州に本社を構える、Plasma-Therm LLCは、1974年に設立。 設立以来、50年以上の経験に基づきプラズマ技術を応用した半導体製造装置の製造・販売を 行っています。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 ▼グループ会社Corial 公式サイト https://corial.plasmatherm.com/en
