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【パッドドレッサー(修正キャリア)】カスタムしてますか?

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最終更新日:2024年10月01日

八千代マイクロサイエンス 株式会社
八千代マイクロサイエンス 株式会社
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研磨ではパッドの精度管理が重要ですが、PADの種類を考慮した修正キャリアを使ってますか?カスタムすると精度管理も楽になります。

カスタムと聞くとカッコよくなるイメージですかね? 鋳鉄製のDP付修正キャリアを使っている場合、見た目もカッコよく精度管理も楽にするためにカスタマイズすることが可能です。 当社の修正キャリアは樹脂キャリアを採用しているため鋳鉄製と比較して非常に軽量であり、キャリア両面にDPがついていることが特長です。 軽量化により「安全性」「作業性」の向上が期待できるのですが、一番の特長は研磨環境に合わせたカスタマイズにあります。 PADの修正は加工環境やPADの硬さなどによりDP配置や粒度を変える必要があります。 研磨環境に合わせてカスタムすることで、修正時間を大幅に短縮することもも可能です。 1~2時間かかっていたドレス作業が、お客様によって5分~30分程度に短縮した事例が多々ございます。 時間以外にも、しっかりとPADの精度を修正することが出来るため、フチダレの改善、研磨レートの向上等含め歩留向上の実績も多々ございます。 現状の課題やご希望に合わせた修正キャリアをご提案いたしますので、ぜひご相談ください。 タイプによっては無償で最大1ヶ月間修正キャリアをご利用頂けます。

    ミラーウエハ加工/研磨装置フォトマスク
4.png

【パッドドレッサー(修正キャリア)】カスタムしてますか?

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  • 関連リンク - https://www.kensaku-kenma.com/%e3%81%8a%e5%95%8f%e…

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基本情報

【実績】 1.機械サイズ 3B~28B(32B等大型機種も要相談) 2.粒度 #140~#1500 目的に応じてご提案いたします。 一部無償テスト用貸出サンプルあり 3.重さ 鋳鉄キャリアの10~20%程度の重さ(作業性抜群です) 9B:0.7kg/枚程度 28B:3.2kg/枚程度 ※サイズが大きくなれば軽量化によるメリットは更に大きくなります。)

価格帯

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用途/実績例

【使用例】 ・貼替え直後、作業開始前、終了後などに使用 ・ポリッシュ定盤に均等に配置(通常4枚/set)し水を流しながら使用 ※2時間かかっていたドレス作業が10~30分程度に改善した事例が多数ございます。 ・終了後は修正キャリアを洗浄し、保管(軽量のため壁掛け保管も可能) DP付修正キャリアのメンテナンス方法(再目立て)などの方法もお伝えいたします。 ※貼替え前の研磨PADなどを利用した再目立てが可能(有償で目立て作業も可) ※導入からメンテナンスフリーで10年以上ご利用のお客様もいらっしゃいます。

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両面研磨PAD用 YMI修正キャリア

両面研磨PAD用 YMI修正キャリア

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八千代マイクロサイエンスは1937年(昭和12年)の創業以来研削・研磨材の 専門商社であると同時に、研究開発部門による研削・研磨関連の製品開発 にも取り組み続けております。 技術情報サイト「研削・研磨.COM」「凝集剤.COM」 の 運営も行っております。ぜひ一度ご覧ください。

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