「石英基材のパーティクルや腐食の問題、解決いたします！」
石英にフッ素樹脂コーティング・ライニングをすると以下のようなメリットが期待されます。 １．コスト削減：薬液から製品を守り石英基材の寿命延長が期待されます。 ２．パーティクル防止：ウエハの接触による石英の摩耗をなくし、パーティクル防止効果が期待されます。 ３．石英、ウエハの破損防止：柔らかい素材なので石英とウエハの接触による破損防止効果が期待されます。 ４．液切れ性向上：撥水性が高いことから、薬液の残留が少なくなり、洗浄コストの削減は勿論、洗浄液が汚れにくくなるのでコスト削減が期待されます。 ５．高純度性向上：石英基材から発生する金属イオンの発生を防ぎ高純度性の向上が期待されます。
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基本情報
日本フッソ工業株式会社は石英基材にフッ素樹脂コーティング・ライニングをしています。 石英へのコーティングに25年以上の豊富な施工実績を有しており、ウエハの接触によるパーティクル防止、薬液による基材の腐食防止など、様々な用途で弊社のコーティングが採用されています。 パーティクルや腐食対策などお悩みの方は、ぜひご相談ください。
価格情報
ご相談ください。
用途／実績例
バッチ式洗浄装置向け「石英ガイドリフター」、「石英チャック」など
企業情報
弊社は、業界（フッ素樹脂関係）でいち早くＩＳＯ９００１及び１４００１を取得した国際規格に合致した企業です。また、技術先行企業で常に新製品を開発しております。