「高純度フォトレジスト液製造設備関連の課題は日本フッソ工業にお任せください！」
フォトレジスト液製造設備にフッ素樹脂ライニングをすると以下のようなメリットが期待されます。 １．高純度性向上：金属イオンの溶出を防ぎ高純度性の向上が期待されます。 ２．液切れ性向上：撥水性が高いことから、製品および洗浄液の残留が少なくなり、品質向上、生産コスト削減が期待されます。 ３．耐薬品性：薬液から基材の腐食を守り、基材の寿命延長が期待されます。 ４．摩耗粉混入防止：弊社のノンメタルPEC仕様を選定することで、撹拌機の軸封部から発生する摩耗粉の混入防止が期待されます。 その他に帯電防止仕様があり、絶縁皮膜であるフッ素樹脂の漏洩抵抗値を下げ、攪拌の際に発生する静電気を体積方向に逃がし、静電気による爆発、皮膜及び機器の損傷防止効果が期待されます。
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基本情報
日本フッソ工業株式会社はレジスト液製造用のタンク、撹拌機、バルブなどにフッ素樹脂コーティング・ライニングをしています。 フォトレジスト液製造設備へのライニングに20年以上の豊富な施工実績を有しており、KrF、ArF、EUV向けの製造用設備の金属イオン溶出防止、腐食防止、洗浄性向上など、様々な用途で弊社のライニングが採用されています。 ライニングに適した機器製作のサポートも充実していますので、フォトレジスト液製造関連でお悩みの方は、ぜひご相談ください。
価格情報
ご相談ください。
用途／実績例
KrF、ArF、EUV向けフォトレジスト製造用設備
企業情報
弊社は、業界（フッ素樹脂関係）でいち早くＩＳＯ９００１及び１４００１を取得した国際規格に合致した企業です。また、技術先行企業で常に新製品を開発しております。
