一度にウエハーの表面・裏面をブラシ洗浄する装置です。
2流体洗浄との併用により、強固な付着物や微細なパーティクル除去が可能です。 主にCMP後の洗浄で使用します。 装置内構成例：ローダー ⇒ 1.ブラシ洗浄チャンバー ⇒ 2.リンス乾燥チャンバー ⇒アンローダー 1.ブラシ洗浄チャンバー ⇒薬液シャワー → 両面ブラシ洗浄 → 純水リンス 2.リンス乾燥チャンバ― ⇒2流体(N2+純粋)洗浄 → MSシャワー(オプション) → N2ブロー乾燥
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