フォトルミネセンス マッピングに対応した高速レーザー欠陥スキャナー
炭化ケイ素（SiC）および窒化ガリウム（GaN）ベースのウエハと化合物半導体材料の表面下欠陥検査とクラス分け機能のニーズに応えるように開発されました。。さまざまなウェーハ処理オプションが用意されており、クラス最高のスループットと感度を備えながら、1パスあたりのコストを最小限に抑え、研究開発と大量生産の双方の対応します
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・FS / BS / エッジ / 表面欠陥と汚染 ・AR/ VR / MR材料と構造 ・炭化ケイ素(SiC)基板およびエピタキシャル層における結晶欠陥性 ・窒化ガリウム(GaN)ウエハおよびエピタキシャル層の結晶欠陥性 ・厚いウェハー/シードウエハの表面と表面下の欠陥性 ・ウエハベースのマイクロLED/VCSEL/EEレーザー材料 ・ウエハ全体および点応力マッピング ・ウェハチャック汚染 ・ヘイズ検出と計測 ・反り/反りウェハ計測 ・薄膜ウェハ検査（フィルムフレームの取り扱いを含む）
企業情報
日本レーザーは1968年の創業より、レーザー専門商社の草分けとして、お客様に支えられながら、レーザー技術の進歩と共に歩んで来た日本で最古・最大のレーザー及び光関連製品の専門企業です。 従業員数の1割強をエンジニアに割いており、技術色の強みを持つ商社です。 米・英・独・仏・スイス・デンマーク・リトアニアなど世界各国の優れたレーザー製品、光関連製品を提供いたしております。各国のトップクラスのメーカーと代理店契約を締結しており、現在の海外取引先数は約50社になります。また当社は、世界より集めたレーザー関連機器を独自に組み上げ、応用システムとして販売提供が可能です。商社でありながらファブレスメーカー的なサービスも提供可能です。お客様の要求に感謝の気持ちを持って、常に柔軟でアグレッシブなソリューションを提供してまいります。
