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半導体製造装置向け GEM通信モジュール

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最終更新日:2025年04月01日

ファブインテリジェンス株式会社
ファブインテリジェンス株式会社

装置とホストの間にGEMモジュールを設置するだけ!

半導体業界で装置とホストを接続するために標準でGEMをお手軽にご利用いただくためのモジュールです。 ■あらゆる工程にフィット ・手軽にGEM通信を導入でき、既存装置に後付け可能 ・Windows PC用の通信コンポーネントを提供 ■イベント・アラームを自動で検出&報告 ・GEMモジュールに各種設定をするだけ ・装置のイベントやアラームを自動検知 ・必要な情報をリアルタイムにホストへ送信 ■最新のSECS/GEM規格に対応 ・イーサネットベースの規格に準拠 ・GEM300に対応予定(2025年)

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イプロス用カバー

半導体製造装置向け GEM通信モジュール

イプロス用カバー GEM.png
イプロス用カバー GEM.png

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基本情報

当社製品は、SECS/GEM(HSMS/SECS-II)に対応したソフトウェアです。 お客様へのお渡しは、ボードパソコン+ソフトウェア+アルミケース+電源を一式でご提供致します。 【製品構成】  ・GEMモジュール  ・メッセージログビュアー  ・コンフィグツール ・Windows向け通信コンポーネント 【ハードウェア仕様】 ・Ethernetポート×2 10/100/1000 Mbps ※IPアドレス、マスク、ゲートウェイはコンフィグツールにて変更可 【通信仕様】 ・ホスト側ポート×1 ・装置側ポート×4 ※クライアント/サーバ、ポート番号はコンフィグツールにて変更可

価格情報

詳細はお問い合わせください ※カスタマイズに応じて変動します。

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用途/実績例

・当社の親会社が開発・販売している半導体製造装置に搭載されており、すでにホストとの通信で貢献しています。 ・現在、中国、アメリカなど海外へ装置に実装されての出荷実績があり、今後、出荷先を順次増加していきます。

企業情報

ファブインテリジェンス株式会社

ファブインテリジェンス株式会社

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