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最終更新日:2025年07月02日

株式会社吉岡精工
株式会社吉岡精工
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ダイシングソー用フランジ「ブレードホルダー」

半導体製造工程のダイシングソーに使用され、シリコンウェハーを切断するための薄い刃物(ブレード)を保持(ホールド)する部品です 一般的にチタンフランジやハブマウントとも呼ばれています ダイシングソーのスピンドルは高速回転に対応するため、ブレードホルダーには軽量かつ剛性の高いチタン合金が採用されています

    ウエハ加工/研磨装置カッターダイヤモンドカッター
0008.JPG

部品『ブレードホルダー』

0008.JPG
0008.JPG
  • 関連リンク - https://www.yoshioka.co.jp/products/bladeholder/

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基本情報

【鏡面加工】 ・内面を鏡面にすることで、スピンドル軸との密着性が向上 ・高速回転時におけるブレードの振動が低減 【平面加工】 ・高い平面度を保つことで、ブレードやハブをしっかり保持 ・ミクロン単位で、チタン合金を超精密加工 【真円加工・バリレス加工】 ・アンバランス量を最小限とし、高速切断時のチッピング削減 ・ネジ勘合部まで、徹底的な寸法管理を実行

価格帯

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用途/実績例

【用途例】 〇半導体製造装置 〇精密研削盤 その他、超精密技術を医療用部品へ応用し、研削レスによるコストダウンを実現

企業情報

株式会社吉岡精工

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