ダイシングソー用フランジ「ブレードホルダー」
半導体製造工程のダイシングソーに使用され、シリコンウェハーを切断するための薄い刃物(ブレード)を保持(ホールド)する部品です 一般的にチタンフランジやハブマウントとも呼ばれています ダイシングソーのスピンドルは高速回転に対応するため、ブレードホルダーには軽量かつ剛性の高いチタン合金が採用されています
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基本情報
【鏡面加工】 ・内面を鏡面にすることで、スピンドル軸との密着性が向上 ・高速回転時におけるブレードの振動が低減 【平面加工】 ・高い平面度を保つことで、ブレードやハブをしっかり保持 ・ミクロン単位で、チタン合金を超精密加工 【真円加工・バリレス加工】 ・アンバランス量を最小限とし、高速切断時のチッピング削減 ・ネジ勘合部まで、徹底的な寸法管理を実行
価格帯
納期
用途/実績例
【用途例】 〇半導体製造装置 〇精密研削盤 その他、超精密技術を医療用部品へ応用し、研削レスによるコストダウンを実現
企業情報
お客様との会話を通して"こんなものが欲しい"を形に致します。お客様で図面が作成出来なくてもお客様のアイデアを伺いながら当社スタッフが図面作成も行います。 当社は設計から製造、納品までの一貫体制を整えています。