幅広い分野のナノメートル計測に。精密干渉計測用光源として大手メーカーに1000台超の納品実績を保有。
日本マイクロ光器製周波数安定化HeNeレーザーシリーズは、1 mあたりの計測誤差が0.01 nm - 1 nmとなる周波数安定性を実現しています。スマートフォン・車載カメラ向けレンズ計測、半導体ウェハーの平坦度測定、フォトマスク・露光装置用ステッパーの複屈折計測などの測定装置に搭載されるレーザー光源として、国内外の装置メーカーへシリーズ累計1,000台超の量産対応実績あり。 用途・精度に応じた3種類のラインナップを用意しています（YS-307 / QQD / QS）。 『QS』は、幅広い分野のナノメートル計測に応用可能な普及型レーザーです。 2 つの発振モードのパワー比を安定化し、シングルモードでも2モードでも出力可能です。 2段階安定化制御と2ヒータ方式を採用することで、環境温度変化の影響を抑え、有効動作温度範囲を広げています。これにより周波数安定性を長時間の連続稼働条件においても維持しています。 ※ 詳しくはカタログをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
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基本情報
ナノメートル〜サブナノメートルの精密干渉計測に適した日本マイクロ光器製 周波数安定化He-Neレーザーです。 用途・精度に応じた3種類のラインナップを用意しています（YS-307 / QQD / QS）。 <QS主な特長> ・ 幅広い分野のナノメートル計測に応用可能な普及型モデル ・ 2つの発振モードのパワー比を安定化。シングルモードでも2モードでも出力可能。 ・ 2段階安定化制御と2ヒータ方式により、周波数安定性を長時間の連続稼働条件においても維持 <その他製品ラインナップ> YS-307 : 10⁻¹¹の超高周波数安定性、競合製品比20分の1以下の周波数変動幅、シングルモード3 mWの高出力を同時に実現。 QQD : 横磁場で生成された直交 2 周波の差周波を安定化したゼーマンレーザー。直交 2 周波出力でヘテロダイン干渉計を容易に構成可能です。 ※ 詳しくはカタログをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
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用途／実績例
・ スマートフォン・車載カメラ向けレンズ計測装置 ・ 半導体ウェハーの平坦度測定装置 ・ フォトマスク・露光装置用ステッパーの複屈折計測装置 向け計測用光源として、国内外の装置メーカーへシリーズ累計1,000台超を納入。
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