低酸素・超高温・高純度・腐食性ガス・多雰囲気など、特殊焼成条件に対応
当社は、材料の試作・評価から量産検討まで対応する電気炉メーカーです。 一般的な電気炉では対応が難しい、低酸素、超高温、高純度雰囲気、腐食性ガス、多雰囲気切替、加湿雰囲気、排ガス評価などの特殊焼成条件に合わせて、最適な炉構成をご提案します。 小型塩素炉、カーボン炉、メタル炉、マルチ雰囲気炉、管状炉などを用途に応じて選定し、材料反応・雰囲気制御・安全対策まで含めた装置設計が可能です。 【取り扱い炉の例】 ■ 小型塩素炉：Cl2/HClを用いた選択塩素化・金属不純物除去 ■ カーボン炉：極低酸素・3000℃級の黒鉛化、炭化、高温焼成 ■ メタル炉：炉材コンタミ・断熱材由来アウトガスを抑えた高純度熱処理 ■ マルチ雰囲気炉：酸化・還元・窒化・加湿・熱CVD条件の検討 ■ 管状炉：反応中の温度・流量・圧力・排気データの見える化 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。
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基本情報
【炉選定のポイント】 ■ 腐食性ガスを使いたい ・Cl2、HClなどに対応した小型塩素炉、ハロゲン炉をご提案 ■ 低酸素・超高温で処理したい ・3000℃級のカーボン炉により、黒鉛化、炭化、高温焼成に対応 ■ 炉材由来コンタミを抑えたい ・金属ホットゾーンのメタル炉により、断熱材由来アウトガスや発塵を低減 ■ 複数雰囲気を切り替えたい ・H2、NH3、O2、N2、Ar、加湿、気化器導入などに対応 ■ 反応途中のデータを取得したい ・管状炉にMFC、圧力計、物温熱電対、排気分析ラインを組み込み可能 ※仕様は材料、温度、雰囲気、処理量、安全対策に応じてご提案します。
価格帯
納期
用途／実績例
【対応用途】 ■ 金属不純物のドライ除去、選択塩素化、治具洗浄 ■ 炭素材料、CNT、CNF、カーボンブラックの黒鉛化・高温改質 ■ SiC、B4C、Si3N4、AlNなどセラミックスの高温焼成 ■ 高純度粉末、半導体材料、薄膜・電極材の高純度熱処理 ■ H2還元、NH3窒化、O2酸化、加湿雰囲気での材料処理 ■ 気化器接続による熱CVD、表面改質、コーティング検討 ■ 焼成中のガス発生、圧力変化、物温変化の見える化 【このような課題に】 ■ 汎用炉では温度・雰囲気・安全仕様が合わない ■ 腐食性ガスや有害ガスを安全に扱える炉を探している ■ 低酸素・超高温・高純度雰囲気で材料を処理したい ■ 炉材コンタミや断熱材由来アウトガスを避けたい ■ 試作条件から量産炉仕様へ展開したい 材料名、処理温度、雰囲気ガス、処理量が未確定の段階でも、用途に応じて炉構成をご相談いただけます。
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企業情報
当社は、「電気」「設備」「化学」の三つの技術を独自のノウハウで 融合させ、革新的な加熱炉、その他設備を開発している会社です。 独自の高温電気炉技術を活かしカーボン炉やマルチ雰囲気炉、メタル炉、 塩素炉など様々な電気炉(加熱炉)を取り扱っております。 単なる設備メーカーではなく、10年先のスタンダードを見据え、お客様と 共にモノづくりを革新的な熱でサポートする、戦略的開発パートナーです。
