高純度有機溶剤向けGEMÜステンレス製ダイアフラムバルブ
半導体産業では、イソプロパノール、アセトン、N-メチルピロリドン（NMP）などの有機溶剤が、物質の溶解や洗浄目的で使用されます。例えば、リソグラフィー工程では、フォトレジストを特殊な溶剤で除去します。溶剤は引火点が低く、また導電性があるため、ステンレス製コンポーネントが特に適しています。GEMÜはこの用途領域向けに、ステンレス製バルブコンポーネントの最適な製品ラインナップを提供しています。 ・高いKv値 ・コンタミを最小限にした設計 ・耐久性の高いアクチュエーターとダイアフラム でGEMÜバルブは定評です。世界中の半導体工場で数多く採用いただいており、20年以上の実績がございます。 半導体工場では下記の要求もあります。 ・洗浄品 ・防爆対応 ・電解研磨 上記もすべて対応可能です。 配管接続規格・アクチュエーターも幅広く取り扱っておりますのでお客様に合わせた最適な製品を選定させていただきます。
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基本情報
【仕様】 アクチュエーター材質：樹脂製・ステンレス製 配管径：4～150A 接続：溶接・ヘルール・VCR・フランジ ボディ材質：1.4435(SUS316L相当) ダイアフラム材質：PTFE/EPDM 作動：ノーマルクローズ・ノーマルオープン・ダブルアクティング・手動 最高使用圧力：1.0Mpa(※タイプによって異なります。) 仕様可能温度：-30～130℃(※タイプによって異なります。) 周囲環境温度：-20～60℃(※タイプによって異なります。)
価格情報
※要お問い合わせください。
納期
~ 1ヶ月
※約5～7週間(数量によって異なります。国内在庫も少数ございます。国内在庫の場合は翌日発送。要お問い合わせください。)
用途／実績例
・半導体向け高純度有機溶剤供給装置 ・高純度薬液生産プラント(フォトレジスト他)
詳細情報
-
半導体工場内の有機溶剤供給装置
ラインアップ（7）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 650 BioStar | 空気操作式ステンレス製アクチュエーター |
| 654 BioStar | 手動式ステンレス製アクチュエーター |
| 653 BioStar | 手動式樹脂製製アクチュエーター |
| 687 | 空気操作式樹脂製アクチュエーター(15A～) |
| 673 | 手動式樹脂製アクチュエーター |
| 671 | 手動式樹脂製アクチュエーター |
| 695 | 空気操作式樹脂製アクチュエーター |
企業情報
GEMÜ（GEMU）は最先端の製造工場における新技術開発力で価値を提供します。 私たちは世界中の製薬業界と強い繋がりを持ち、バルブ開発・改良に取り組んできました。その中で、無菌性が必須の「サニタリーダイアフラムバルブ」や、高い制御精度が求められる「半導体製造に特化したバルブ」等、多くの製品を取り揃えるに至りました。 全世界6か所の製造拠点を設け、世界50ヶ国以上でサービスを提供しています。 サニタリーバルブ市場においてリーディングカンパニーとして、多くのプラントで採用頂いています。 研究開発には積極的に取り組み、毎年売上の5％以上が開発投資に回されています。 おかげさまで、ドイツの経営経済研究所（IMWF）よりデジタル化を推進するテクノロジー企業として表彰されています。
