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腐食性の高い薬液に強い!!GEMÜ製 フッ素樹脂バルブのご紹介

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iComLine・CleanStar

最終更新日:2025年12月23日

ゲミュージャパン株式会社
ゲミュージャパン株式会社
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腐食性の高い薬液にも対応!!GEMÜ製高純度フッ素樹脂バルブ

半導体製造の特に洗浄・エッジングにおいて必ず高純度の高い腐食性がある流体を使用します。またその薬液を装置に供給する装置では多くのバルブを使用し、コンポーネントは常にダメージを受けています。ダメージを受け続け、薬液が漏れトラブルが起きた際は、 ・半導体生産能力の低下による大きな損失 ・復旧作業における時間の損失 ・作業員の方への被害 など様々なリスクがございます。 バルブにおけるその大きな要因は腐食性の高い薬液によるステンレス製パーツの腐食です。 長年使用すると、ステンレス製パーツは薬液による浸透で腐食が始まります。そうするとバルブの故障による事故になりかねません。 GENÜ製品は腐食性の高い薬液に対して対策を行っております。 ・標準品で高純度なA4(SUS316L相当)のステンレスを採用 ・オプションでステンレスに対してPFAコーティング 弊社製品を使用いただくことで長期間安心して使用いただけます。 是非お困りの方はお問い合わせください!

    バルブレジスト装置CMP装置
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腐食性の高い薬液に強い!!GEMÜ製 フッ素樹脂バルブのご紹介

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comp_C50_C60_C12_09_23_1.png PFAコーティング.png
  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/gemu-group/product/

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基本情報

【仕様】 iComLine サイズ:1/4"~1 1/4" 接続:Pillar Super 300・フレア・Nexus Connect・その他要お問い合わせください。 ボディ材質:PTFE・PFA シール材質:PTFE 作動:ノーマルクローズ・ノーマルオープン・手動(マルチターン)・手動(トグル式) 最高使用圧力:0.6Mpa 使用可能温度:-10~150℃(※特殊対応品で200℃) 周囲環境温度:0~60℃ CleanStar サイズ:1/4"~1 1/4" 接続:Pillar Super 300・フレア・Nexus Connect・チューブ出し・パイプ出し ボディ材質:PFA シール材質:PTFE/EPDM 作動:ノーマルクローズ・ノーマルオープン・手動 最高使用圧力:0.6Mpa 使用可能温度:-10~150℃ 周囲環境温度:0~60℃

価格情報

※要お問い合わせください。

納期

詳細はお問い合わせください

※約2~3か月程度

用途/実績例

・薬液供給装置 ・スラリー供給装置 ・半導体製造装置

ラインアップ(6)

型番 概要
C50 iComLine 空気操作式 ダイアフラムグローブバルブ
C51 iComLine 手動(トグル式) ダイアフラムグローブバルブ
C57 iComLine 手動(マルチターン) ダイアフラムグローブバルブ
PC50 iComLine 高純度樹脂ブロックバルブソリューション
C60 CleanStar 空気操作式 ウエアー型 ダイアフラムバルブ
P35 iComLine 空気操作式 新型小型化 グローブダイアフラムバルブ

カタログ(1)

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【GEMÜ(GEMU)半導体】マイクロエレクトロニクス,半導体,リチウム イオン電池製造プロセス向けソリューション

【GEMÜ(GEMU)半導体】マイクロエレクトロニクス,半導体,リチウム イオン電池製造プロセス向けソリューション

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GEMÜ(GEMU)は最先端の製造工場における新技術開発力で価値を提供します。 私たちは世界中の製薬業界と強い繋がりを持ち、バルブ開発・改良に取り組んできました。その中で、無菌性が必須の「サニタリーダイアフラムバルブ」や、高い制御精度が求められる「半導体製造に特化したバルブ」等、多くの製品を取り揃えるに至りました。 全世界6か所の製造拠点を設け、世界50ヶ国以上でサービスを提供しています。 サニタリーバルブ市場においてリーディングカンパニーとして、多くのプラントで採用頂いています。 研究開発には積極的に取り組み、毎年売上の5%以上が開発投資に回されています。 おかげさまで、ドイツの経営経済研究所(IMWF)よりデジタル化を推進するテクノロジー企業として表彰されています。

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