PFASフリー時代の設計図! ArF液浸からCMP、洗浄まで、工程別の代替物質とプロセス最適化を徹底解説!
世界の半導体製造の未来図:PFASフリー戦略と次世代代替技術の最前線 【本書の特徴】 ・規制リスクを機会に変える! 欧州、米国、アジアのPFAS規制動向と、半導体サプライチェーン再編の道筋を提示! ・装置性能の維持が鍵! 装置部品におけるPFASフリー材料の実用性を評価! ・化学者の武器! POE、APG など、次世代洗浄・剥離用界面活性剤の性能と導入メリットとは? ・「PFASフリー戦略における失敗課題の類型と事例」から学ぶ、致命的な歩留まり低下を防ぐ教訓! ・配管、温調、クリーンルーム・ユーティリティまで、PFASフリー化の全体像と具体的な実装計画! ・短鎖/部分フッ素誘導体のリスクと、シリコーン系(PDMS)などの完全代替候補の特性を比較分析! ・技術者のための実践戦略! PFAS依存度低減に向けた「プロセス条件最適化」の具体的手法と事例! 【構成】 1編半導体分野におけるPFASフリー戦略と代替技術 2編半導体分野におけるPFASフリー戦略の失敗と課題 3編半導体製造プロセスにおけるPFAS代替 4編製造装置・インフラにおけるPFAS代替 5編代替候補物質と今後の展望
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基本情報
■ 発 行:2025年12月26日 ■ 定 価:本体(冊子版) 330,000 円(税込) 本体 + CD(PDF版) 440,000 円(税込) ★ メルマガ会員:定価の10%引き! ■ 体 裁:A4判・並製・383頁 ■ 編集発行:(株)シーエムシー・リサーチ ISBN 978-4-910581-74-3
価格情報
本体(冊子版) 330,000 円(税込) 本体 + CD(PDF版) 440,000 円(税込)
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
2・3日
用途/実績例
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