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【半導体製造装置向け】高精度金属加工

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最終更新日:2026年01月15日

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真空チャンバーのコストダウンと納期短縮を実現!

半導体製造装置業界では、真空チャンバーの精密な加工が求められます。真空チャンバーは、半導体製造プロセスにおいて、高い気密性と耐久性が不可欠であり、0.01mm以下の精度が要求されることがあります。精度の低い加工は、真空漏れや装置の性能低下につながる可能性があります。当社複合竪型NC旋盤は、このような課題に対し、高精度な金属加工を提供します。 【活用シーン】 ・真空チャンバーの製造 ・半導体製造装置部品の加工 ・高精度が求められる金属部品の製造 【導入の効果】 ・高精度加工による製品品質の向上 ・工程集約によるコスト削減 ・納期短縮の実現

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【半導体製造装置向け】高精度金属加工

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基本情報

【特長】 ・テーブルサイズΦ1600mmの複合竪型NC旋盤を複数台保有 ・平面度0.01mm以下、平行度0.01mm以内の加工実績 ・鋼、SUS、アルミ、耐熱合金等に対応 ・試作から量産まで対応 ・工程設計によるサイクルタイム短縮 【当社の強み】 1979年の創立以来、総合部品加工メーカーとして培ってきた技術力と、複合竪型NC旋盤による高精度加工技術を組み合わせ、お客様のニーズに応えます。

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用途/実績例

■シリコンウェーハ研磨装置用部品(SUS・S45C/Φ1500) ■LNG等低温液化ガス輸送用ポンプ部品(AL/Φ600~Φ800×L600~1200) ■パワー半導体製造装置用部品(SUS/φ550×L800)  etc ※平面度0.01mm以内等の加工精度で納品実績あり。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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当社は1979年の創立以来、総合部品加工メーカーとして各種タービンブレード、大型機械部品等の生産に携わってきました。 タービンブレードにおいては発電用の蒸気タービン・ガスタービン及び船舶用過給機等に使われるタービンブレードを生産。特に高温、高回転での極限環境で活躍する発電機用のタービンブレードは材質が難削材で形状も複雑かつ三次元の曲面加工が要求され、サイズも大きく、蓄積された高い技術と優れた生産設備が必要となります。弊社はお客様からの様々な要求にもお応えできる環境を整え、誠心誠意努力を重ねてきた結果、長きに亘り培われた生産技術力、機械加工力、そして品質力が醸成され、大手企業様からは高い評価と信頼を得ております。 また、タービンブレード生産加工で培われた難削材加工の高い技術力を生かし、航空機エンジン部品加工を1988年に開始。 お客様からの要求に対し、常に徹底した品質管理体制で一歩進んだものづくりでお応えします。 更には大型プラントバルブ、半導体製造に必要な機器部品等、幅広い分野での大型機械部品加工を得意とし、部品加工のトップかつ最良のメーカーを目標に日々積極的に挑戦しています。

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