最大1800µmの長ストロークとナノ精度。独自の静電容量センサーで、物理的接触をせずに位置測定
半導体製造のウェーハやマスクの位置決めにおいて、高い精度と安定性が求められます。ナノメートルレベルの位置決め精度が製品の品質を左右します。位置決めの誤差は、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。P-620.2〜P-629.2 PIHera(R)シリーズは、長寿命のPICMA(R)アクチュエータを採用したXY軸ピエゾナノポジショニングステージです。静電容量式センサーを用いたクローズドループ制御により、優れた直線性と安定性を両立し、1nm以下の高分解能、±0.2nmの双方向再現性を提供します。 【活用シーン】 ・半導体製造装置 ・ウェーハ検査 ・マスクアライメント ・プロービング 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる歩留まり向上 ・安定した動作による生産性の向上 ・小型筐体による装置への組み込みやすさ ・長寿命アクチュエータによるメンテナンス性の向上
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基本情報
【特長】 ・50 ～ 1800μm のストローク ・無摩擦のない高精度なフレクシャガイドシステム ・PICMA(R)ピエゾアクチュエータによる長寿命 ・X、XY、Z、XYZ の各バージョンがあります 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績と、世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータを提供しています。お客様の用途に合わせた最適なソリューションを提案し、位置決めに関する課題解決をサポートします。 詳細な製品仕様についてはカタログからご確認いただけます。ご質問などございましたら、ぜひお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
・干渉計における位相シフト制御 ・共焦点／原子間力顕微鏡のサンプル位置調整 ・ナノスケールでのアライメントおよびスキャン制御 ・フォトニクス素子の精密位置決め・アセンブリ ・半導体パターン検査および品質保証工程 ・光学・バイオ分野のトラッキング／アクティブ安定化ステージ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッドなどの位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に総合的なソリューションを提供しています。是非ご覧下さい。
