±50 mm / ±30°対応・高速6軸制御ヘキサポッド
H-840 ヘキサポッドは、製造装置や検査工程への組込みに適した6自由度パラレルキネマティクス位置決めシステムです。±50 mm / ±30°の広い動作範囲と高ダイナミック性能を備え、高速かつ高精度な6軸同時制御を実現。光学アライメントや精密検査、微細加工工程における位置調整を高精度にサポートします。詳細な仕様・構成例はカタログをご覧ください。 【活用シーン】 ・半導体/電子部品の高精度検査 ・光学部品の6軸アライメント ・レーザー加工装置への組込み ・精密組立・調整工程 【導入の効果】 ・6軸同時制御による高精度位置合わせ ・高速応答によるタクトタイム短縮 ・広い可動範囲で多様なワークに対応 ・装置組込みに適したコンパクト設計
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基本情報
【特長】 ・高精度6軸システム ・トラベルレンジ:最大±50 mm / ±30° ・自由6軸パラレル可動設計 ・再現性:最大±0.1 µm ・最大速度:60 mm/s ・ピボットポイント(回転中心)の任意設定が可能 【当社の強み】 ドイツ本社で50年以上にわたり培ってきた精密制御技術をもとに、世界中の研究機関・装置メーカーに採用されるピエゾステージおよびアクチュエータを提供しています。豊富なラインアップと技術力で、お客様のニーズに最適なソリューションをご提案します。
価格帯
納期
用途/実績例
研究および産業:微細操作、レーザーアライメント/工学アライメント、バイオテクノロジー、ツール制御
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ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ&アクチュエータやヘキサポッドなどの位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に総合的なソリューションを提供しています。是非ご覧下さい。








