慣性駆動と位置フィードバックで長期安定の光学微調整
光学システムでは、高精度な光軸調整や位置決めが重要です。特にレンズやミラーなどの光学素子の位置は、システム性能や測定精度に大きく影響します。わずかな位置ズレでも、画像品質の低下や測定誤差の増大につながる可能性があります。 N-472シリーズは、インクリメンタルエンコーダによる位置フィードバックを備えたピエゾマイクロポジショニングアクチュエータです。慣性駆動（スティックスリップ）方式により、高分解能の位置決めと長期安定性を実現し、光学素子の精密なアライメント調整を可能にします。 さらに停止時にはセルフロック機構により位置を保持するため、電流を必要とせず発熱を抑制。長時間にわたる安定した光学調整を実現します。 【活用シーン】 ・光学顕微鏡の対物レンズ調整 ・レーザー加工機の光軸調整 ・半導体製造装置における位置決め 【導入の効果】 ・高精度な位置決めにより、システムの性能向上 ・長期安定性により、メンテナンス頻度の削減 ・インクリメンタルエンコーダ内蔵により、位置フィードバックが可能
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基本情報
【特長】 ・高い安定性と保持力 100 N ・制御オフでも、停止時に自動ロック ・インクリメンタルエンコーダ内蔵 ・フィードフォース 22 N 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績と、日本法人30年の経験で培ってきた精密制御技術をもとに、世界中の研究機関・装置メーカーに採用されるピエゾステージおよびアクチュエータを提供しています。豊富なラインアップと技術力で、お客様のニーズに最適なソリューションをご提案します。
価格帯
納期
用途／実績例
・光学ミラーやフィルタのナノスケール位置調整 ・レーザー光路アライメントの長期安定保持 ・真空環境下での精密位置決め ・顕微鏡ステージの微動制御およびチップ調整 ・X線・レーザー干渉計の試料位置合わせ ・非磁性要求のある研究機器や装置への組込み ・手動ねじ機構の電動・高精度化 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
