サブナノメートル分解能・最大10 kHz帯域 ナノレベルの非接触変位計測を実現
研究開発分野では、ナノスケールの微小な変位や振動を正確に測定することが求められます。特にナノ計測や精密位置決めの研究では、高分解能かつ高応答なセンサーが実験精度や再現性を大きく左右します。 D-510は、静電容量方式による非接触変位測定を採用した高分解能センサーです。サブナノメートル分解能と最大10 kHzの高帯域により、ナノレベルの変位測定や高ダイナミクスな振動測定を実現します。研究開発用途における高精度測定やナノ位置決め制御に最適です。 【活用シーン】 ・ナノ位置決め研究 ・材料特性評価 ・精密振動測定 ・ナノメトロロジー ・研究用精密計測装置 【導入の効果】 ・ナノレベルの高精度変位測定 ・非接触測定による試料への影響低減 ・高帯域測定による動的挙動の解析 ・実験データの再現性と信頼性向上
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基本情報
【特長】 ・距離／動き／振動の非接触測定 ・絶対位置検知 ・サブナノメートルの分解能 ・測定範囲～ 500μm ・組み込みが容易 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績と、日本法人30年の経験で培ってきた精密制御技術をもとに、世界中の研究機関・装置メーカーに採用されるピエゾステージおよびアクチュエータを提供しています。豊富なラインアップと技術力で、お客様のニーズに最適なソリューションをご提案します。
価格帯
納期
用途／実績例
・半導体製造／試験および測定 ・精密機械加工 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
