1枚の薄型プラットフォームで、3軸動作可能な高精度エアベアリングステージ
精密加工業界では、微細加工における高精度な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細な部品の組み立てや検査においては、ナノレベルの位置精度が求められます。従来のステージでは、設置スペースの制約や、微細な振動による精度の低下が課題となっていました。当社の薄型エアベアリング Z Tip/Tilt ステージは、これらの課題を解決し、精密加工の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・微細加工における位置決め ・精密部品の組み立て ・検査工程 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・薄型設計による省スペース化 ・摩擦のないスムーズな動作による製品寿命の向上
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基本情報
【特長】 ・Z軸±2.5 mm、θX, θY軸 ±1°のトラベルレンジ ・8 kgの耐荷重 ・直径 250 mmのプラットフォーム ・高さ：60 mm ・摩擦のないモーションプラットフォーム 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績と、日本法人30年の経験で培ってきた精密制御技術をもとに、世界中の研究機関・装置メーカーに採用されるピエゾステージおよびアクチュエータを提供しています。豊富なラインアップと技術力で、お客様のニーズに最適なソリューションをご提案します。
価格帯
納期
用途／実績例
ウェーハ検査 ファイバー位置決め 光学系位置決め フラットスクリーン検査 マスクレスリソグラフィー マイクロLED製造 などの高精度アプリケーション
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
