量産対応・少量生産対応！レジスト塗布・ベーク・冷却の一連の工程を自動で処理するシステム
当社で取り扱っている「レジストコーター」についてご紹介いたします。 ご要望に応じて、手動仕様での製作にも対応。 ワークサイズはΦ2"～12"ウェハ、100□～320□mm角基板に 対応しております。 ワーク材質はSi、SiC、GaN、GaAs、InP、LT/LN、 セラミック、水晶、樹脂、ガラス等。塗布材粘度は 100CP～8,000CPです。 【仕様(一部)】 ■ワーク搬送：多関節クリーンロボット 裏面吸着方式 ■二段カップ(上段：レジスト、下段：リンス) ■レジスト液：フォトレジスト、ポリイミド系(キャニスター内蔵可能) ■ベーク：90℃～120℃±1℃(プロキシミティ/コンタクト選択) ■クールプレート：10℃～25℃(プロキシミティ/コンタクト選択) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【オプション】 ■インナーカップ ■EBR機能 ■自動消火器 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
株式会社LCは、半導体製造装置の専門メーカーとして、前工程から後工程まで幅広いウェットプロセス技術を提供しています。 基板製造・デバイス製造・3Dパッケージングなど多様な工程に対応し、シリコンから化合物半導体、SiC、セラミック、水晶まで幅広い材料特性を理解したウェットプロセス技術を蓄積しています。長年の経験に基づく設計力で、お客様のプロセス要求に最適化したカスタム装置を提供します。 また、後工程のダイボンダーや検査機、光学システムの設計・製造にも対応し、工程全体を支える技術を提供しています。
