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最終更新日:2026年03月27日

株式会社オカムラ 物流システム事業本部
株式会社オカムラ 物流システム事業本部
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クリーン環境対応の搬送システムで、半導体製造の品質と効率を向上

半導体業界では、製品の品質を左右する微細な異物混入を防ぐため、クリーンな環境下での搬送が不可欠です。精密な位置決めと安定した搬送性能も求められます。エクセルシリーズは、これらの課題に対応し、半導体製造プロセスにおける歩留まり向上に貢献します。 【活用シーン】 ・クリーンルーム内でのウェーハ、基板、部材の搬送 ・製造ラインにおける工程間のスムーズな移動 ・検査装置への正確な位置決め 【導入の効果】 ・異物混入リスクの低減による品質向上 ・搬送時間の短縮による生産性向上 ・省スペース化による製造ラインの効率化

    搬送・ハンドリングロボットその他搬送機械
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【半導体向け】クリーンルーム搬送機器『エクセルシリーズ』

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基本情報

【特長】 ・清浄度クラス10以下のクリーン環境に対応 ・静電圧5V以下、省電力設計 ・モジュール分割タイプ、アキュームタイプなど、多様なラインナップ ・マグネット駆動、ギア駆動など、搬送物の特性に合わせた選択肢 【当社の強み】 株式会社オカムラ 物流システム事業本部は、ロジスティクスの合理化を追求し、実践を通して、つねに新しい物流システム機器を開発、提供しています。物流システムの改善の提案から、ソフトウェアの開発、機器導入、運用支援、アフターサービスまで、トータルにお手伝いします。

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オカムラの物流システム事業は、 長年培ってきた物流システム構築の経験と先端テクノロジーを融合し、 ビジネスを成功に導く物流ソリューションの提供を目指します。 お客さまの経営戦略や事業環境に合わせ、運用設計から機器導入、 保守サービス、運用サポートまでトータルにお手伝いします。

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