装置特有の要求条件に基づいた最適な表面処理の選び方を徹底解説。
半導体製造装置の現場では、部品の腐食によるパーティクル発生が歩留まりを左右します。 適切な表面処理の選定は、装置の長寿命化と信頼性担保に直結する重要事項です。 材質別の表面処理処理の選び方 ■アルミ鋳物 ・硬質アルマイト：皮膜を厚く、硬くすることで耐摩耗性を付与。アームやステージに最適。 ・高真空対応アルマイト：封孔処理（水蒸気等）を工夫し、アウトガスのリスクを低減。真空チャンバー構造材に最適。 ■鋳鉄・鋳鋼 ・無電解ニッケルめっき：複雑形状やネジ穴の内側まで均一な厚みで防錆皮膜を作成。装置のベースや微調整機構の定番。 ・低温クロムめっき：膜厚1～2μmで強力な防錆力と剥がれにくさ。精密駆動部や工学系治具に最適。 ・カチオン電着塗装 / ウレタン吹付塗装：大型の鋳鉄架台やフレームの防錆・意匠性向上に最適。 ■鋳鋼・ステンレス鋳鋼 ・電解研磨：表面を電気化学的に溶解させ、鏡面状に平滑化することでガス吸着を抑え、真空立ち上がり時間を短縮。 ヒノデグループは、鋳造から塗装、精密加工までの一貫体制により最適な仕様をご提案いたします。
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基本情報
ヒノデグループは、『材料・構造の最適化による性能向上』と『多様な材質・プロセスの一貫生産体制』により、お客様のものづくり課題を、開発段階から量産までワンストップで解決いたします。 【このようなお困りごとを解決します】 ●装置の「振動低減」「熱変化低減」「高剛性化」「軽量化」をお考えの方 ・独自材料と構造解析/トポロジー最適化で鋳物メーカーならではの解決策をご提案。 ・開発期間を短縮する3Dプリンタや試作検査体制も充実。 ●鋳物部品の発注手間やリードタイムでお困りの方 ・鋳鉄・鋳鋼・アルミ・特殊材など、多様な材質・製造プロセス・ロットにご対応。 ・型製作、試作から鋳造・加工・組立・輸配送までワンストップでご対応。 ●鋳物の安定供給をお考えの方 ・創業100年のマンホール鉄蓋トップシェアメーカーの実績。 ・工作機械、産業用ロボット、自動車、半導体製造装置などの産業機械分野で 350社以上のお客様との実績あり。 ・多品種小ロットから数千個単位の大ロットまで幅広く対応可能なグループ体制。 ・国内外400社以上の協力企業体制でどんな材質・サイズにもご対応。
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用途／実績例
半導体製造装置・電子部品製造装置（架台・フレーム・ベース、チャンバー、真空ポンプ、低熱膨張鋳鉄の精密部品等） 工作機械（鋳鉄・ミネラルキャスティング製のベッド、コラム、ビーム） 産業用ロボット（ベース、ケーシング、アーム） 輸送用機器・建設機械（エンジン・駆動系、油圧部品、足回り部品） 造船・舶用機器（シーブ、ケーシング）
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企業情報
ヒノデホールディングスは、鋳鉄・鋳鋼・アルミ鋳物・加工・物流の専門家が集結した鋳造プロフェッショナル集団です。 「装置部品の軽量化・振動抑制」「精密加工」「サプライヤー管理・発注業務の煩雑さ」など、設計・開発から生産・調達における課題を、グループの総合力で解決します。 装置の開発段階からから量産機のVA/VEまで、ヒノデにお任せください。 ■ 対象業種 半導体製造装置・電子部品製造装置（架台・フレーム・ベース、チャンバー、真空ポンプ、低熱膨張鋳鉄の精密部品等） 工作機械（鋳鉄・ミネラルキャスティング製のベッド、コラム、ビーム） 産業用ロボット（ベース、ケーシング、アーム） 輸送用機器・建設機械（エンジン・駆動系、油圧部品、足回り部品） 造船・舶用機器（シーブ、ケーシング） ■ 対象工程・部品 工程： 材質開発・選定、構造設計、試作、量産、加工、組立、品質管理、グローバル調達・国内外輸配送 材質： 鋳鉄（FC/FCD）、アルミ鋳物、鋳鋼、ステンレス鋳鋼 、低熱膨張材、耐熱鋳鋼、耐摩耗材、ミネラルキャスティング、他
