同じ圧力なら水の使用量が1/3、同じ流量なら圧力が3倍、少ない流量で繰返しの衝撃。マスクやガラス洗浄ウェハ研磨後スラリー除去に。
使用する水の量が少なく水膜のできにくい 既存装置にも後付可能な洗浄ノズルユニット 最大30Hzで駆動する洗浄ノズル 5〜10MPaの高圧水を発生させるポンプ コントロールユニットの組合せ 従来の連続スプレーは、自ら作った水膜の上からスプレーで圧力を加えており、洗浄力を上げる＝圧力を上げる＝流量が増え水膜も厚くなる、という傾向がありますが、DP－Gunは間欠スプレーのため、同じ圧力（＝衝撃）でも少ない流量となり、水膜ができにくく、スプレーした水が対象物へダイレクトに衝撃を加えます。 断続スプレーが繰り返し衝撃を加えることで、被洗浄物の異物除去、マスク洗浄、カセット等の立体物（細い溝や入り組んだ形状）の洗浄などで、優れた洗浄効果を発揮します。 ポンプユニットはノズルの開閉による流量変化に合わせたフィードバック制御を行うことで、圧力調整での捨て水が少なく安定した水圧コントロールを実現しています。 ※液体の一定量をスプレーする 測量＋スプレー塗布についてもご相談ください ※ノズル、ポンプは定期的なメンテナンスが必要となります。
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基本情報
【参考仕様】 ■DP-Gun 1台 ・ 本体 ・ ノズルチップ 標準洗浄幅 約110mm または 約65mm ※1 ■ポンプユニット 1式 ・ ポンプ ※1 ・ コントロールユニット（DP-Gun用ドライバー2台分内蔵） ・ 操作パネル ・ 外部制御対応（スタート・ストップ・アラーム出力等） ■設定項目 １ 圧力 (供給圧力 2～10MPa) ２ 周波数 (スプレー回数 5～30Hz） ３ パルス幅 (スプレー開時間 5～15ms） ※1 ノズルチップの形状・ポンプ容量 は 洗浄の目的 必要流量・DP-Gunの設置数量により別途ご相談となります ■その他 DP-Gun取り付けステー、洗浄槽・移動ステージ、 スピン・エアーナイフによる乾燥、 他洗浄方法（超音波・薬液等）と合わせての装置化 等 ご要望に応じてご提案させて頂きます。 ※ 写真はDP-Gunの複数台使用時の連結イメージと 弊社デモ機（取付ステー・簡易洗浄槽付き）
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■各種マスク洗浄 ・ ローラー搬送装置としての使用 ・ 単体での使用（ハンドガン方式） ■チップトレー洗浄 ・ 高圧パルスジェット → US洗浄 → オーブン乾燥 ■種ガラス用ローラー搬送による洗浄装置化 ・ ブラシ → 高圧パルスジェット → リンス → エアーナイフ乾燥 ■ウェハー用カセット、キャリア、キャリアカセット、チップトレー等の立体物の洗浄 ・ 多関節ロボットと組み合わせての内外面を洗浄（手作業を自動化） ■既存ラインの洗浄力強化 ・ 既存の洗浄装置の洗浄槽の一部へ追加 ・ 既存の洗浄装置の2流体スプレーと入替え
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企業情報
EXTENSIVE VISION ON SYSTEM （幅広い視野に立ったシステム構築） を目的として、独自性の高い製品を作るという意味から名づけられました。 現在の技術革新には目覚ましいものがあり、時代の要求は常に高度なものになっております。熟成化された今の装置産業に革命を起こすべく、常に他社との差別化をなした装置の提案を行い、産業界に貢献する会社であることが我々の使命だと考えております。
