大手にはないサイズ感と低価格を実現。実験室に導入しやすいコンパクト設計で、ウエハや特殊基板に合わせた仕様カスタマイズも自在。
株式会社ＭＴＫより、LED・半導体・MEMS製造用『Wet処理装置』のご案内です。 各社が必要なプロセス性能や装置サイズ、販売価格などをヒアリングさせて頂き、各社ごとに最適な洗浄装置の 設計を提案します。 従来ですと装置に使用される機能、材質が過剰になってしまい、洗浄装置価格が高価になってしまいます。 MTKは顧客第一に考えます。そのため時には顧客の予算をお聞きした上で、装置の仕様を決定する順序になります。 ダメとあきらめることなしに、先ずはMTKへご連絡下さい。
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基本情報
【特徴】 ○高プロセス性能（パーティクル数など） ○低価格 ○オゾン水、水素水などの機能水にも対応。 ○2流体ジェットなど物理洗浄にも対応。 ○2インチなど小口径にも対応します。 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格情報
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納期
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用途／実績例
SiC,GaN,シリコン等の半導体、LED、MEMS、各種センサー
カタログ（2）
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企業情報
株式会社MTKは化合物ウエハ、Siウエハの洗浄装置、エッチング装置を高性能・低コストで貴社へ提案いたします。 ●SiC,LT,LN,GaAs,GaN.Siウエハ洗浄で多くの評価をいただいております。 ●海外、特に中国とのビジネスに経験豊富。ビジネスの架け橋となります。 ●化合物半導体基板の洗浄、ウエットエッチングの事なら株式会社MTKにお任せください。 北京TanKeBlue社の日本代理店をしており、SiCウエハ、インゴット販売も多くの企業様よりお引き合いいただいております。 また、次世代半導体材料のGaN基盤も取扱いしております。 貴社の細かなご要望にもお応えいたします。誠意を込めて対応させていただきます。
