【水洗いだけで簡単清掃】優れた非粘着性でスラリーのこびり付きを徹底防止。洗浄時間を大幅短縮し、装置の稼働率を最大化！
半導体製造ラインの安定稼働を阻む大きなボトルネックが、装置部品に固着した「スラリーの清掃・メンテナンス作業」です。 ●現場を悩ませるスラリーの固着 半導体製造におけるCMP（化学機械研磨）工程等で飛散する研磨スラリーは、時間の経過とともにパーツ表面へ強力にこびり付き、クリーンルーム内での清掃作業に多大な時間と工数を費やしてしまいます。メンテナンスに伴う定期的なライン停止（ダウンタイム）は、工場全体の生産性を圧迫する原因となります。 ●保全工数とダウンタイムを激減させるフッ素樹脂 PFAコーティング 極めて低い表面エネルギー（高い非粘着性）を持つPFA被膜を施工することで、スラリーの強固な固着を防止。「固着しても簡単に落とせる」抜群の清掃性を実現します。固着物の刮ぎ落とし作業が不要になり、軽く洗い流すだけで速やかに除去できるため、メンテナンス時間を劇的に短縮できます。装置の平均合間時間（MTBF）を高め、連続稼働率の向上と作業者の負荷軽減に貢献します。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【機能特性】 ● 抜群の離型性・清掃性 スラリーや薬品汚れのこびり付きを強力に防止 ● 優れた耐薬品性 酸・アルカリ洗浄液によるコーティング劣化を防止 ● 優れた耐久性 繰り返し清掃・水洗を行っても非粘着効果を持続 【仕様概要】 ● 処理名称：高機能 PFAコーティング ● 耐熱性：連続使用温度 約260℃（過酷な温熱薬液洗浄にも対応） ● 適用可能部品：CMP装置周辺カバー、受けトレイ、ノズル部、治具類 【施工体制】 ● 複雑な立体形状や内面流路への均一塗装対応 ● 用途や清掃環境（使用洗浄液）に合わせた最適な塗膜膜厚・仕様設計
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ● スラリーや高粘着液剤が飛散・付着しやすい自動化装置部品全般 ● CMP装置用カバー、ドレンパン、配管流路、メンテナンス頻度の高い機構部品 【採用実績・導入効果】 ● 課題：CMP装置部品に付着・乾燥したスラリーの清掃作業に時間がかかり、メンテナンスに伴う装置停止時間（ダウンタイム）が長文化していた。 ● 導入後：飛散エリアおよびヘッドパーツにPFAコーティングを施工。スラリーが付着しても水洗いでサッと流せるようになり、頑固なこびり付きの除去作業が不要に。 ● 効果：クリーンルーム内でのメンテナンス時間が劇的に短縮。装置の稼働率（MTBF）が飛躍的に向上し、保全工数削減を達成しました。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
■機能性コーティングの受託加工メーカー 各種産業部品へのフッ素樹脂やPEEKコーティングなどの機能性コーティングの加工を行う専門メーカーです。 私たちは、ただ指示通りに塗るだけの加工業者ではありません。製造現場の「くっつく」「滑らない」「すぐ摩耗する」「腐食する」といった頑固な表面のお悩みを、一緒に頭を悩ませて解決する一番身近な技術パートナーでありたいと考えています。 ■部品の課題を独自の表面処理で解決 非粘着性、耐食性、耐熱性、すべり性、帯電防止など、多様な機能をプラス。製造装置の長寿命化や、現場のメンテナンスの手間を減らすお手伝いをします。 ■関東エリアを中心に全国対応！ 埼玉県春日部市の工場を拠点に、関東全域（東京、神奈川、千葉、茨城、栃木、群馬）から全国までスピーディに対応。 ■表面のお悩みは日建塗装工業までご相談ください！ ・今のコーティングに満足していない ・環境規制（PFAS）に合う処理を探している など、図面段階の「こんなことできる？」から試作、量産まで一貫対応いたします。表面のガッカリをスッキリに変えるため、ぜひお気軽にご相談ください！
