【ウエハの歩留まり向上】メタルタッチを排除！PEEK・フッ素樹脂コーティングで、キャリアの微小キズや発塵を防止。
半導体製造プロセスでシリコンウエハを格納・保持・搬送する金属製ウエハキャリア（キャリヤ治具）向けに、PEEKコーティングやフッ素樹脂コーティングあるいはフッ素樹脂×PEEK複合コーティングを施工した技術サンプル・ソリューションです。 ウエハが格納される繊細なスロット（溝）内部から、複雑なフレーム構造の細部に至るまで、均一に被膜を形成します。 【導入による主な解決効果】 ■ ウエハの傷・チッピング防止 金属基材とのメタルタッチを完全に排除。接触ストレスや摩擦を緩和し、ウエハの取り出し・挿入時の微小なカケ（チッピング）や擦り傷を防ぎます。 ■ 耐薬品性＆メタルコンタミ抑制 洗浄工程の酸・アルカリ薬液に強い耐性を発揮。熱環境下でもアウトガスや金属イオンの溶出が極めて少なく、ウエハへの汚染リスクを低減します。 ■ 静電気（ESD）・パーティクル対策 帯電防止グレードを選択可能。摩擦帯電を抑え、静電破壊（ESD）リスクやクリーンルーム内微粒子の吸着トラブルを防ぎます。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【施工技術】 受託PEEKコーティング / 受託フッ素樹脂コーティング 【技術的特長・機能】 ■ 高い耐摩耗性・衝撃吸収性 ウエハ接触面の摩耗を極小化し、治具自体の長寿命化を実現 ■ 卓越した耐薬品性・高純度性 各種酸・アルカリ・有機溶剤への耐性と低アウトガス性を両立 ■ 帯電防止グレード対応 表面抵抗値を低下し、静電気の帯電を防止。静電破壊（ESD）防止および塵埃吸着をシャットアウト 【対象基材・適用部材】 ■ ステンレス（SUS）、アルミニウム等の金属製ウエハキャリア・洗浄用カゴ・各種搬送治具 【メンテナンス体制】 ■ コーティング膜が摩耗した際も、塗膜を剥離して再度施工する「リコート」に対応。金属キャリア基材の再利用（リユース）が可能です。
価格帯
納期
用途／実績例
【主な適用用途・工程】 ■ 半導体前工程・後工程 ウエハ搬送用キャリア、クリーンルーム内ストッカー治具 ■ 洗浄・エッチング工程 ウエハ浸漬用キャリアカゴ、薬液・純水洗浄用バスケット ■ 搬送・ロボットハンド系 ウエハガイド、チャックプレート、アライメント部品 【想定用途】 ■ 課題 金属製ウエハキャリアの使用に伴い、スロット溝部との接触（メタルタッチ）でウエハ外周に微細なチッピング（カケ）が発生していた。また、洗浄薬液によるキャリアの腐食・金属イオン溶出や、摩擦静電気によるパーティクル吸着による歩留まり低下。 ■ 導入後 ウエハキャリア全体へ帯電防止機能付きの被覆処理（PEEK/フッ素樹脂）を施工。 ■ 期待される効果 ・金属接触が解消され、ウエハのキズ・チッピング不良が激減して歩留まりを向上。 ・薬液に対する腐食がなくなり、異物吸着も低減したことで洗浄性が向上。キャリアの長寿命化も同時に達成。
カタログ（3）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
■機能性コーティングの受託加工メーカー 各種産業部品へのフッ素樹脂やPEEKコーティングなどの機能性コーティングの加工を行う専門メーカーです。 私たちは、ただ指示通りに塗るだけの加工業者ではありません。製造現場の「くっつく」「滑らない」「すぐ摩耗する」「腐食する」といった頑固な表面のお悩みを、一緒に頭を悩ませて解決する一番身近な技術パートナーでありたいと考えています。 ■部品の課題を独自の表面処理で解決 非粘着性、耐食性、耐熱性、すべり性、帯電防止など、多様な機能をプラス。製造装置の長寿命化や、現場のメンテナンスの手間を減らすお手伝いをします。 ■関東エリアを中心に全国対応！ 埼玉県春日部市の工場を拠点に、関東全域（東京、神奈川、千葉、茨城、栃木、群馬）から全国までスピーディに対応。 ■表面のお悩みは日建塗装工業までご相談ください！ ・今のコーティングに満足していない ・環境規制（PFAS）に合う処理を探している など、図面段階の「こんなことできる？」から試作、量産まで一貫対応いたします。表面のガッカリをスッキリに変えるため、ぜひお気軽にご相談ください！
