ロードロック式スパッタ装置 RAS-1100BＩＩ
独自開発のRAS(Radical Assisted Sputtering）方式により波長シフトのない高品質な光学薄膜を低温で再現性良く実現でき、装飾膜、窒化膜などの機能性薄膜を実現できる中型量産用モデルです。
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基本情報
独自開発のRAS(Radical Assisted Sputtering）方式により波長シフトのない高品質な光学薄膜を低温で再現性良く実現でき、装飾膜、窒化膜などの機能性薄膜を実現できる中型量産用モデルです。
価格情報
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納期
用途／実績例
１．波長シフトのない高密度な光学薄膜形成が可能 ２．低温成膜で、様々なアプリケーションに対応可能 ３．時間制御のみで厳しい仕様を持つ複雑な光学特性膜も光学薄膜設計と一致する成膜が可能 ４．基板は、平板はもちろん、凸凹のあるものにも可能 ５．高屈折率材料と低屈折率材料の混合膜により、再現性良い中間屈折率膜が可能 ６．窒化膜、装飾膜などの機能性薄膜を実現 ７．ロードロックシステムにより、安定した成膜品質を維持可能 ８．成膜効率の向上、コンパクト化でＣＯ２排出量を抑え、地球環境に配慮 ９．従来の蒸着システムに比べ、メンテナンスならびにクリーニングが大幅に軽減 10．成膜面積は約１．０平米で、膜厚分布の変動係数を０．５％以内におさめることが可能 11．オプションで補正板外部調整機構の追加が可能 12．スパッタ工程は自動化されています
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企業情報
創立以来、私たちが心がけてきたこと。それは、常にお客様の声に耳を傾け、お客様にご満足いただける製品を作り続けていくことです。幸いにも多くのお客様にご支持いただき、国内トップクラスのシェアを獲得することができましたが、創立50年を経過した現在もこの姿勢は変わりません。 国内のみならずアジアをはじめとする海外の皆様からご注目いただき、交流がいちだんと増加していることからもご理解いただけると思います。 経営のあるべき姿を真摯に求め、技術や品質はもちろんのことスピード、サービス、コストパフォーマンスなどあらゆる面で国際競争に対応できる企業として努力を重ねてまいります。 日々刻々イノベーションの新しい波が訪れるいま、私たちはあくなき挑戦心の下、高度で先進的な技術を駆使し真空薄膜形成全般に精通した総合薄膜形成装置メーカーとして、さらなる進化を図っていく所存でございます。
