１２インチポーラスチャック
全自動半導体構造装置（主にダイシングソー）に使用されるポーラスチャック。 全自動半導体製造装置(主にダイシングソー)に使用されるポーラスチャックです。"ウェハーの取り出し→アライメント→切断→洗浄/乾燥→ウェハーの収納"までの工程を全自動で行うタイプのダイシングソーなどで使用されます。 洗浄や乾燥工程でウェハーをポーラスチャックごと回転させるためポーラスチャック外周には余計な突起などは付いていません。
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基本情報
300mmウェハー対応の大口径ポーラスチャックです。 現在さらに大口径の試作も完了し、次世代大口径ウェハーへの対応も行っています。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途例】 ■半導体製造装置 ■半導体各種検査・計測装置 ■FPD製造装置、搬送装置 ■画像解析装置、各種描画装置、光学顕微鏡 ■リチウムイオン電池 ■医療機器 ■印刷搬送・塗布 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
企業情報
お客様との会話を通して"こんなものが欲しい"を形に致します。お客様で図面が作成出来なくてもお客様のアイデアを伺いながら当社スタッフが図面作成も行います。 当社は設計から製造、納品までの一貫体制を整えています。
