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Emprunner BTR-11

最終更新日:2011年01月31日

株式会社スペクトラ・コープ
株式会社スペクトラ・コープ
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数多くの分光装置の中で光源の輝度測定を対象とした装置は、今まで入手困難でした...。

各種フィルムの厚み及びコート膜の管理は生産現場を始めに急激に需要として伸びています。 透過率による透明度の管理や色度を用いて色目の管理も同様に関心を集めている検査項目です。 そのような光の測定を高速で稼働しているインラインプロセス工程の中に取り入れた分光装置が「Emprunner BTR-11」、各制御信号対応に対応し安全対策も施された新しい概念のインライン分光検査装置です。 フィルム幅サイズやスピードによる測定制限も受けず、内臓分光部はCarl Zeiss製分光器を採用し、測定膜厚再現性や透過率精度は、インライン検査レベルで非常に高い水準を達成しています。

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インライン膜厚透過率分光測定装置

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基本情報

フィルムに塗布された膜の厚みをハロゲン光の光干渉方式で測定します。透過率測定も同時に行い、膜厚データの自動管理・異常値の外部信号出力出来ます。 制御盤との距離・オペレータの操作部も数十メートル離す事が出来るフィルム製造ライン用分光検査装置は、エリアセンサー・エンコーダーも同時に制御し、分光測定概念を超えた新たなフィルム検査を実現致します。

価格情報

-

納期

詳細はお問い合わせください

※1.5ヶ月〜2ヶ月

用途/実績例

測定波長範囲 400nm-900nm 対象膜厚範囲 1μm-100μm 膜厚再現性精度 0.1μm以下 透過率再現性精度 ±0.1%以下 吸光度データ範囲 0-3ABS ロータリーエンコーダ 256パルス/回転

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光測定を主に利用し、各種非破壊非接触測定及び半導体製造プロセス検査(膜厚測定、プラズマモニターなど)をおこなうデバイスをオンライン、オフライン両方に開発

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