微小□2.0mmＩＣウエハチップを非接触にて掴みます。
「微小□2.0mmウエハチップ非接触チャック」は、気体を噴出することによりミュウチップと本気底面に儲けたクッション室内部とチップに対向する作動面との間隙に負圧および正圧を発生させ微小2.0mm角ＩＣミュウチップを非接触状態にてつかみ搬送します。 チップ吸引時、作動面とチップとの間隙が微小であるため作動面とチップとを平行に維持することは操作上難しいため、本機は、微小なクッション室にて効率よく負圧が発生するように気体噴出ノズルが形成されている。 ◎特徴 １．□2.0mmチップを非接触にてチャック可能 ２．ダイシングしたウエハチップを非接触にて搬送する。 ３．トレーのチップを非接触にて取り出し可能。 ４．非接触保持しているチップの反転、傾斜が可能。 ◎適応 １．タグ埋め込みＩＣチップ ２．イベント人員管理タグＩＣチップ ３．微細ウエハチップ ４．微小レンズ ５．微小光学機器
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基本情報
「□2.0mmウエハ非接触チャック」は、気体を噴出することによりミュウチップと本気底面に儲けたクッション室内部とチップに対向する作動面との間隙に負圧および正圧を発生させ2.0mm角ＩＣウエハチップを非接触状態にて吸引し懸垂保持する。 チップ吸引時、作動面とチップとの間隙が微小であるため作動面とチップとを平行に維持することは操作上難しいため、本機は、微小なクッション室にて効率よく負圧が発生するように気体噴出ノズルが形成されている。 ◎特徴 １．□2.0mmチップを非接触にてチャック可能 ２．ダイシングしたウエハチップを非接触にて搬送する。 ３．トレーのチップを非接触にて取り出し可能。 ４．非接触保持しているチップの反転、傾斜が可能。 ◎適応 １．タグ埋め込みＩＣチップ ２．イベント人員管理タグＩＣチップ ３．微細ウエハチップ ４．微小レンズ ５．微小光学機器
価格情報
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納期
用途／実績例
ウエハをダイシングした微小□2.0mm角のウエハチップを非接触にてチャッキングしトレー等に搬送し収納する。またトレーのウエハチップを取り出し非接触にて搬送する。
企業情報
当社にて発明、開発した垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）を用いたウエハ、液晶ガラス基板、ＰＤＰ、セラミック、プリント基板、ＦＰＣ基板、フィルム、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。
