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集積化ガスシステム対応ガスフィルター

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FI/SIシリーズ

最終更新日:2012年06月20日

株式会社ピー・ジェイ
株式会社ピー・ジェイ
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高濾過精度

半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製集積化ガスシステム対応ガスフィルターです。

    CVD装置ステッパーガスフィルタ
FI-SI-160_120.jpg

集積化ガスシステム対応ガスフィルター

FI-SI-160_120.jpg
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基本情報

【特徴】 ○高濾過精度で定評のあるセラミックスエレメントタイプ(0.003μm)と、メタルエレメントタイプ(0.003μm)があります。 ○Cシール/H1Gシール/Wシールに対応しています。(Cシール/Wシールは1.125インチタイプも対応しています) ○数LPMの少流量から120LPMまでの大流量タイプをラインナップしています。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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用途/実績例

半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など

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株式会社ピー・ジェイは、(株)ピュアロンジャパンの総販売元として設立されました。(株)ピー・ジェイは全力を尽くしてピュアロン製品を世界に発信して参ります。 取扱商品 1.(株)ピュアロンジャパン製品全て  ・セラミックガスフィルター  ・メタルガスフィルター  ・ハステロイガスフィルター  ・PTFEガスフィルター  ・ハイブリッドフィルター  ・ガス精製器  ・ヒーター  ・リキッドフィルター  ・圧力センサー  ・表示器  ・温度センサー  ・微差圧計  ・比抵抗率計  ・デジタルフローコントロールシステム 2.半導体製造装置用及び一般産業機器向け流体制御機器部品

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